Camada dielétrica excelente da bolacha térmica mais alta do óxido da uniformidade como um isolador

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Bolacha térmica do óxido, uniformidade mais alta, e força dielétrica mais alta, camada dielétrica excelente como um isolador

 

A camada térmica do dióxido do óxido ou de silicone é formada na superfície desencapada do silicone na temperatura elevado na presença de um oxidante, o processo é chamada oxidaço térmica. O óxido térmico é crescido normalmente em uma fornalha de tubo horizontal, na variaço da temperatura de 900°C ~ 1200°C, usando “um método molhado” ou “seco” do crescimento. O óxido térmico é um tipo da camada “crescida” do óxido, comparado ao CVD depositou a camada do óxido, tem uma uniformidade mais alta, e uma força dielétrica mais alta, é uma camada dielétrica excelente como um isolador. Na maioria de silicone baseou dispositivos, a camada térmica do óxido joga um papel importante para pacificar a superfície do silicone para atuar como a lubrificaço de barreiras e como os dielétricos de superfície. nós fornecemos a bolacha térmica do óxido no dimetro de 2" a 12", nós escolhemos sempre a categoria e o defeito principais - bolacha de silicone livre como a carcaça para crescer a camada térmica do óxido da uniformidade alta para cumprir suas exigências específicas. Contacte-nos para mais informações sobre do preço & do prazo de entrega.

 

Capacidade térmica do óxido

Tipicamente após o processo térmico da oxidaço, a parte anterior e o verso da bolacha de silicone têm a camada do óxido. Caso que somente uma camada lateral do óxido é exigida, nós podemos remover para trás a bolacha térmica do óxido e do óxido do lado da oferta uma para você.
 

Escala da espessura do óxidoTécnica da oxidaçoDentro da bolacha
uniformidade
Bolacha bolacha
uniformidade
Superfície processada
100 Å ~ 500Åóxido seco+/- 5%+/- 10%ambos os lados
600 Å ~ 1000Åóxido seco+/- 5%+/- 10%ambos os lados
100 nanômetro ~ 300 nanômetroóxido molhado+/- 5%+/- 10%ambos os lados
400 nanômetro ~ 1000 nanômetroóxido molhado+/- 3%+/- 5%ambos os lados
1 um ~ 2 umóxido molhado+/- 3%+/- 5%ambos os lados
3 um ~ 4 umóxido molhado+/- 3%+/- 5%ambos os lados
5 um ~ 6 umóxido molhado+/- 3%+/- 5%ambos os lados

Aplicaço térmica da bolacha do óxido

 

100 APortas da escavaço de um túnel
150 A ~ 500 AÓxidos da porta
200 A ~ 500 AOs LOUCOS acolchoam o óxido
A 2000 ~ 5000 AÓxidos de máscara
3000 A ~ 10000 AÓxidos do campo

 

Especificaço de produto

 
Técnica de QxidationOxidaço molhada ou oxidaço seca
DimetroØ 2"/Ø 3"/Ø 4"/Ø 6"/Ø 8"/Ø 12"
Espessura do óxido100 A ~ 6 um
Tolerncia+/- 5%
SuperfícieÚnica camada lateral ou dobro do óxido dos lados
FornalhaFornalha de tubo horizontal
GaseGás do hidrogênio e do oxigênio
Temperatura° DE 900 C - ° 1200 DE C
R.I.1,456

 

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Camada dielétrica excelente da bolacha térmica mais alta do óxido da uniformidade como um isolador

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