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Bolacha térmica do óxido, uniformidade mais alta, e força dielétrica mais alta, camada dielétrica excelente como um isolador
A camada térmica do dióxido do óxido ou de silicone é formada na superfície desencapada do silicone na temperatura elevado na presença de um oxidante, o processo é chamada oxidaço térmica. O óxido térmico é crescido normalmente em uma fornalha de tubo horizontal, na variaço da temperatura de 900°C ~ 1200°C, usando “um método molhado” ou “seco” do crescimento. O óxido térmico é um tipo da camada “crescida” do óxido, comparado ao CVD depositou a camada do óxido, tem uma uniformidade mais alta, e uma força dielétrica mais alta, é uma camada dielétrica excelente como um isolador. Na maioria de silicone baseou dispositivos, a camada térmica do óxido joga um papel importante para pacificar a superfície do silicone para atuar como a lubrificaço de barreiras e como os dielétricos de superfície. nós fornecemos a bolacha térmica do óxido no dimetro de 2" a 12", nós escolhemos sempre a categoria e o defeito principais - bolacha de silicone livre como a carcaça para crescer a camada térmica do óxido da uniformidade alta para cumprir suas exigências específicas. Contacte-nos para mais informações sobre do preço & do prazo de entrega.
Capacidade térmica do óxido
Tipicamente após o processo térmico da oxidaço, a parte anterior e
o verso da bolacha de silicone têm a camada do óxido. Caso que
somente uma camada lateral do óxido é exigida, nós podemos remover
para trás a bolacha térmica do óxido e do óxido do lado da oferta
uma para você.
Escala da espessura do óxido | Técnica da oxidaço | Dentro da bolacha uniformidade | Bolacha bolacha uniformidade | Superfície processada |
---|---|---|---|---|
100 Å ~ 500Å | óxido seco | +/- 5% | +/- 10% | ambos os lados |
600 Å ~ 1000Å | óxido seco | +/- 5% | +/- 10% | ambos os lados |
100 nanômetro ~ 300 nanômetro | óxido molhado | +/- 5% | +/- 10% | ambos os lados |
400 nanômetro ~ 1000 nanômetro | óxido molhado | +/- 3% | +/- 5% | ambos os lados |
1 um ~ 2 um | óxido molhado | +/- 3% | +/- 5% | ambos os lados |
3 um ~ 4 um | óxido molhado | +/- 3% | +/- 5% | ambos os lados |
5 um ~ 6 um | óxido molhado | +/- 3% | +/- 5% | ambos os lados |
Aplicaço térmica da bolacha do óxido
100 A | Portas da escavaço de um túnel |
150 A ~ 500 A | Óxidos da porta |
200 A ~ 500 A | Os LOUCOS acolchoam o óxido |
A 2000 ~ 5000 A | Óxidos de máscara |
3000 A ~ 10000 A | Óxidos do campo |
Especificaço de produto
Técnica de Qxidation | Oxidaço molhada ou oxidaço seca |
---|---|
Dimetro | Ø 2"/Ø 3"/Ø 4"/Ø 6"/Ø 8"/Ø 12" |
Espessura do óxido | 100 A ~ 6 um |
Tolerncia | +/- 5% |
Superfície | Única camada lateral ou dobro do óxido dos lados |
Fornalha | Fornalha de tubo horizontal |
Gase | Gás do hidrogênio e do oxigênio |
Temperatura | ° DE 900 C - ° 1200 DE C |
R.I. | 1,456 |