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Cmara Ion Implanation Components do arco do tungstênio e do molibdênio da pureza alta
Nossos produtos:
Cmaras (tungstênio, molibdênio e ligas)
Filamentos (tungstênio e ligas do tungstênio)
Réguas do arco (tungstênio, molibdênio e ligas)
Suportes (tungstênio, molibdênio e ligas)
Cátodos (tungstênio, molibdênio e ligas)
Peças sobresselentes (tungstênio, molibdênio e ligas)
Nós fornecemos o molibdênio e os componentes de alta qualidade, preciso feitos máquina do tungstênio para o equipamento de processamento da parte frontal usado na fabricaço de semicondutores, incluindo ferramentas de Ion Implantation, do MOCVD, do CVD, do PVD, e do MBE. A experiência de fabricaço, a experiência, e o conhecimento de Elmet dos materiais do molibdênio e do tungstênio para permitir-nos de fornecer a preciso fizeram máquina os componentes e os conjuntos que encontram suas especificações exigentes.
Aplicaço:
A implantaço de íon do semicondutor é uma nova tecnologia da alteraço de superfície material. Foi amplamente utilizada na lubrificaço de materiais do semicondutor, na alteraço de superfície dos metais, na cermica, nos polímeros etc. É uma técnica necessária no circuito integrado de fabricaço contemporneo da grande escala.
A implantaço de íon é a injeço do feixe de íon com uma ordem da energia de 100keV em um material onde o feixe de íon tenha uma série de interações físicas e químicas com átomos ou moléculas no material. Os íons do incidente perdem gradualmente sua energia, e param-na finalmente no material e para causar uma mudança na composiço, na estrutura e nas propriedades da superfície do material, aperfeiçoando assim as propriedades de superfície do material, ou dando algum desempenho excelente novo ao material.
Propriedade material:
Os componentes do tungstênio e do molibdênio de Sanhui usados na implantaço de íon têm a pureza alta, boas propriedades mecnicas a assegurar-se de que sejam apropriados para o processamento de componentes da cmara do arco com formas complexas.
A cmara do arco do tungstênio e do molibdênio da pureza alta é a garantia básica para o rendimento da microplaqueta do semicondutor. As peças principais do tungstênio e do molibdênio da fonte de íon do elevado desempenho de Sanhui reduzem extremamente a frequência da manutenço da máquina e para assegurar a capacidade de produço de cliente, seja a melhor escolha para clientes.
Com um conjunto completo de equipamento fazendo máquina importado da preciso, com materiais de produço própria tais como o tungstênio, o molibdênio, o tntalo e o nióbio como a base do controle da qualidade, e de combinar tecnologia estrangeira avançada, Sanhui pode projetar, produzir e processar os produtos do elevada preciso e os de alta qualidade de acordo com exigências de cliente.
Casos do sucesso:
Sanhui é equipado com o equipamento completo para processar materiais refratários, e pode fornecer clientes as placas, as folhas, as barras, as hastes e os componentes complexos feitos dos materiais refratários do metal tais como o tungstênio, o molibdênio, o tntalo, o nióbio e as suas ligas. Sanhui pode fornecer os produtos do tungstênio e do molibdênio usados no grande-feixe, no meio-feixe e em fontes de íon alta-tenso; capaz de fornecer componentes alta-tenso da fonte de íon do tungstênio, peças da implantaço de íon do grande-feixe do tungstênio ou do molibdênio, e componentes da fonte de íon do meio-feixe do molibdênio. Os produtos foram fornecidos aos fabricantes principais em Taiwan, o Estados Unidos e outros países e regiões.