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O alvo do tungstênio, WTi que engasga o alvo, o tungstênio que engasga o alvo é uma carcaça importante para que o filme de óxido do tungstênio realize sua transiço funcional no dispositivo de semicondutor. Devido ao ponto de derretimento alto do tungstênio, alvos do tungstênio so preparados principalmente pela metalurgia de pó
Descriço
O tungstênio que engasga o alvo é uma carcaça importante para que o filme de óxido do tungstênio realize sua transiço funcional no dispositivo de semicondutor. Devido ao ponto de derretimento alto do tungstênio, alvos do tungstênio so preparados principalmente pela metalurgia de pó
Devido a seus estabilidade de alta temperatura, resistência alta do transporte do elétron e coeficiente alto da emisso de elétron, tungstênio refratário do metal e ligas do tungstênio foram amplamente utilizado na fabricaço do circuito integrado da grande escala do semicondutor. alvos do tungstênio da Alto-pureza e da liga do tungstênio para semicondutores. Os campos da aplicaço, as exigências de desempenho e os métodos da preparaço dos materiais foram analisados em detalhe, e a tendência de desenvolvimento foi sondada. os alvos do tungstênio da Alto-pureza e da liga do tungstênio so usados principalmente para fabricar os elétrodos de porta, as fiações da conexo e as barreiras de difuso de circuitos integrados do semicondutor. Etc.,
há umas exigências extremamente altas na pureza dos materiais, do índice de impureza, da densidade, do tamanho de gro e da uniformidade da estrutura de gro. os alvos do tungstênio da Alto-pureza e da liga do tungstênio utilizaço principal a presso quente, a presso isostatic quente, etc. por meio da meio-frequência que aglomera + presso que processa, alto-pureza, os alvos do tungstênio do alto densidade podem ser preparados, mas o controle da uniformidade do tamanho de gro e da estrutura de gro, no é to bom como os alvos do tungstênio preparados pela presso isostatic quente.
O alvo aglomerado do tungstênio para engasgar, caracterizou naquele que exibe uma densidade relativa de 99% ou mais, em um dimetro de gro de cristal médio de 100 m ou menos, em um índice de oxigênio de 20 ppm ou menos e de uma força da deflexo de MPa 500 ou mais e de um método para preparar o alvo do tungstênio com estabilidade a baixo custo, que usa condições melhoradas da produço para um pó do tungstênio da matéria prima e condições melhoradas da aglomeraço. O alvo aglomerado do tungstênio tem um nível elevado de densidade e de um alto nível da finura de uma estrutura de cristal que sejam conseguidas nunca por um método convencional da aglomeraço de presso e sejam melhoradas marcadamente na força da deflexo, que conduziu diminuiço significativa na ocorrência de defeitos da partícula.
Densidades | Técnica |
19.2g/cm3 | Forjamento |
18.2g/cm3 | Aglomeraço |
Material: Tungstênio
Circunstncia: terra
Aplicaço: Indústria de revestimento de PVD, tubo de raio X e assim por diante.