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Engasgando o Titnio-alumínio do alvo
A liga de alumínio do titnio (AlTi) que engasga alvos é produzida pela tecnologia ANCA e é amplamente utilizada em revestimentos da ferramenta e em revestimentos decorativos. Comparado com o processo de derretimento, o alvo de TiAl preparado pelo processo ANCA tem uma estrutura interna microscópica mais uniforme e um tamanho de gro menor, que seja apropriado para o vário magnétron que engasga máquinas e máquinas de revestimento do íon. No processo de PVD, o utilizador final pode obter uma taxa constante da eroso e um revestimento alto do pureza e o uniforme do filme fino.
De acordo com relatórios da pesquisa no processo de produço de alvos da liga de alumínio do titnio no país e no estrangeiro, as técnicas principais da preparaço de engasgar o Titnio-alumínio do alvo incluem atualmente: método de aquecimento atual alto, método quente da aglomeraço da presso isostatic, e método da aglomeraço da presso quente.
Nosso Titnio-alumínio do alvo engasgar é popular devido ao seu:
Ductilidade alta
Condutibilidade térmica alta
Microestrutura homogênea
Nível imbatível de pureza material
O que quer que cátodos giratórios ou planares da geometria - do arco ou alvos planares engasgar: Nós podemos fornecer os alvos específicos que so perfeitos para sua aplicaço.
1. método de aquecimento atual alto
O erudito 1 inventou um método para produzir alvos da liga do titnio-alumínio com a alta intensidade atual. Este método usa um dispositivo que possa obter uma grande corrente, e usa-se altamente atual para aquecer o pó do titnio e o pó de alumínio, e aplica-se a presso fazer o alumínio e o titnio reage sós. Um alvo da liga de alumínio do titnio é formado. A densidade do produto do alvo da liga de alumínio do titnio preparado através deste método é >99%, o tamanho de gro é os mícrons ≤100, e a pureza é >99%. A escala da composiço do alvo da liga de alumínio do titnio é: o índice 5% ~75% do titnio (relaço atômica), e o resto so índice de alumínio. Este método tem o baixo custo e a densidade alta do produto, que podem inteiramente cumprir as exigências da produço industrial em grande escala. Este método da preparaço exige um dispositivo que possa obter a grande corrente. Os elétrodos positivos e negativos precisam de ter funções de transmisso da condutibilidade e da presso, e devem ter a boa condutibilidade, a dureza e a resistência ao amaciamento de alta temperatura, etc. Consequentemente, se pode ter um grande dispositivo atual que cumpra as exigências do processo e tenha estável o desempenho é a chave ao método da preparaço.
2. Método quente da aglomeraço da presso isostatic
O erudito 2 inventou um método da preparaço da metalurgia de pó do alvo da liga de alumínio do titnio. Este método mistura o pó do titnio e o pó de alumínio, e submete-se ento carga do pó e pré-compresso fria da presso isostatic, processo de desgaseificaço, e aquece-se ento. A presso hidrostática é formada, e aglomerada finalmente e processada para obter um alvo da liga de alumínio do titnio. O alvo da liga de alumínio do titnio preparado através deste método tem as características do alto densidade, a nenhuma porosidade, a nenhuma porosidade e segregaço, composiço uniforme, e grões de cristal finas. Preparou a densidade do titnio que o produto do alvo da liga de alumínio é ≥99%, a pureza é >99%, o tamanho de gro é os mícrons ≤100, e o tamanho máximo da especificaço pode alcançar 1.000 milímetros. A escala da composiço do alvo da liga de alumínio do titnio é: índice 20% do titnio ~ 80% (relaço atômica), e o resto é índice de alumínio. O método quente da presso isostatic é atualmente o método principal para preparar a liga de alumínio do titnio que engasga os alvos exigidos pela indústria de revestimento. Os produtos do alvo preparados através deste método so densos e têm uma vasta gama de especificações do tamanho de qualquer modo, este método exigem o uso de uma presso chave e equipamento da aglomeraço, uma fornalha de aglomeraço quente da presso isostatic, que seja cara, que conduz ao custo alto do produto preparado do alvo, e é difícil promover a industrializaço.
3. Método da aglomeraço da presso quente
O erudito 3 inventou e outros um processo rápido da aglomeraço da presso quente para alvos da liga de alumínio do titnio. Este processo permite o pó de alumínio do titnio de ser aglomerado sob a aço combinada do calor e da força. O ponto de baixa temperatura de fuso do alumínio na mistura do Si-Al é usado para reduzir a liga de alumínio do titnio. Os pós so ligados junto para formar uma liga que engasga o alvo. O diagrama esquemático da presso quente que aglomera é mostrado em figura 2.
Engasgando a imagem do Titnio-alumínio do alvo:
O alvo da liga preparado através deste método tem o alto densidade
(≥95%), o tamanho de gro pequeno (mícrons ≤100), e a composiço do
uniforme. os alvos da liga do Titnio-alumínio com composições
diferentes podem ser preparados por este processo. a liga do
Titnio-alumínio visa a escala da composiço é: o índice do titnio é
25% a 75% (relaço atômica), e o resto é índice de alumínio. O
processo é custo, e bom curtos, baixos revestindo o efeito, que
pode cumprir as exigências da industrializaço em grande escala.
A característica deste processo é transferir a presso através de um molde rígido em um vácuo ou a atmosfera protetora, de modo que o material seja aglomerado e formado sob a aço combinada do calor e da força, e as duas etapas da presso fria e da aglomeraço so combinadas em uma etapa, que pode extremamente melhorar a eficiência do processo.
Este processo tem exigências altas para o equipamento, e o equipamento chave é uma fornalha de aglomeraço depresso. Os alvos preparados so principalmente em volta dos alvos da liga com um dimetro de ≤100 milímetro. Além, este processo é usado para preparar alvos da liga do titnio-alumínio com índice de alumínio alto. Neste tempo, há uns problemas de demolding difícil e da baixa vida útil do molde. Cada processo da preparaço do alvo consome um grupo de moldes, que aumente os custos de gastos de fabricaço do alvo. Consequentemente, é necessário escolher um agente liberador apropriado de molde melhorar o desempenho do rendimento e do molde. Taxa de utilizaço.
Presentemente, a imprensa quente que aglomera é a tecnologia a mais potencial da preparaço para a liga de alumínio do titnio que engasga alvos. Esta tecnologia tem a eficiência alta do processo e é apropriada para a produço industrial. Contudo, o uso da imprensa quente que aglomera para preparar a liga de alumínio do titnio que engasga alvos é difícil ao demold, o problema da baixa vida útil do molde. Cada processo da preparaço do alvo consome um grupo de moldes, que aumente os custos de gastos de fabricaço do alvo. No processo da aglomeraço da liga de alumínio do titnio, o titnio pertence fase dura com ponto de derretimento alto, e o alumínio pertence fase de ligamento. Durante o processo da aglomeraço do pó de liga do titnio-alumínio do alto-alumínio, o alumínio de baixa temperatura de fuso derrete gradualmente, que pode ligar os átomos do titnio junto e finalmente formar um alvo da liga. Contudo, o ngulo molhando do líquido de alumínio e do molde da grafite é um ngulo obtuso, e o índice mais de alumínio é liga de alumínio do titnio, mais difícil é ao demold após a presso quente aglomerando e refrigerando. Consequentemente, o processo da preparaço da aglomeraço da presso quente de alvo da liga de alumínio do titnio do alto-alumínio precisa de escolher um agente liberador apropriado melhorar o rendimento e a taxa de utilizaço do molde.
Além, a temperatura da aglomeraço, a taxa de aquecimento, e a presso da presso quente no processo da aglomeraço da presso quente têm uma grande influência na estrutura e no desempenho finais do produto. Entre elas, a temperatura da aglomeraço é demasiado alta, que conduzirá transiço da fase contínua que aglomera fase líquida a aglomeraço, fazendo ao ponto de derretimento alto a fase dura colapsos de esqueleto e desperdiça o poder e a energia, que no é conducente a reduzir custos; além, se a temperatura da aglomeraço é demasiado alta, causará o crescimento das grões de cristal e o aumento e o crescimento da segunda fase, que reduzirá o desempenho de revestimento engasgar do material de alvo. Se as grões de cristal do alvo so demasiado grandes, a superfície engasgar estará consumida durante engasgar, e o unevenness na superfície da peça da eroso que aparece no alvo engasgar aumentará, tendo por resultado uma diminuiço na uniformidade da espessura de filme do filme formado da liga. Quando o poder for grande, a frequência da descarga anormal dos aumentos pequenos do arco, e respingar resultante. Ao mesmo tempo, comparado com a carcaça, a segunda fase tem a eficiência pobre engasgar e é provável permanecer como as saliências, que igualmente afetaro a uniformidade do filme engasgar. A temperatura da aglomeraço é demasiado baixa, que conduzirá aglomeraço incompleta e baixa densidade do produto do alvo. Se a taxa de aquecimento é rápida durante o processo da presso quente, a eficiência do trabalho pode ser melhorada, mas porque a parte da área é aglomerada primeiramente, a fase de ligamento fluirá, tendo por resultado o material de alvo o problema final da composiço desigual. De alta presso pode igualmente melhorar a eficiência, mas ao mesmo tempo fará com que o molde sério vista e reduza a vida útil do molde.
Em resumo, a imprensa quente que aglomera é a tecnologia a mais
potencial da preparaço para a liga de alumínio do titnio que
engasga alvos. Esta tecnologia tem a eficiência alta do processo e
é apropriada para a produço industrial. A preparaço de alvos da
liga de alumínio do titnio por esta tecnologia exige
experimentações repetidas e seleço. O agente liberador de molde
pode melhorar a taxa de rendimento e a taxa de utilizaço do molde.
Ao mesmo tempo, é necessário aperfeiçoar as condições de processo
da presso quente da aglomeraço (temperatura da aglomeraço, taxa de
aquecimento, presso da presso quente), melhorar a eficiência da
produço, e reduzir custos. Com o crescimento de revestimento
engasgar rápido, e a tendência da divulgaço gradual em China, a
procura do mercado para engasgar alvos do revestimento igualmente
está aumentando rapidamente cada ano. Consequentemente, a pesquisa
sobre a tecnologia da preparaço de alvos da liga de alumínio do
titnio tem o significado prático e grandes perspectivas da
aplicaço.
Si do alvo da liga de alumínio target/Ti-Al do titnio: 33:67% do Al | |||||||||
Si | Al | Fe | Si | Magnésio | Cl | C | Manganês | O | N |
46,30 | 53,20 | 0,075 | 0,066 | 0,030 | 0,013 | 0,016 | 0,008 | 0,095 | 0,003 |