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Características da fornalha de Eelctric do laboratório do tubo:
Taxa de depósito alta do filme: A tecnologia do fulgor do RF, aumentando extremamente a taxa de depósito do filme, a taxa de depósito pode alcançar 10Å/S
Uniformidade alta da área: A tecnologia de alimentaço do RF do multi-ponto avançado, a distribuiço do trajeto do gás e a tecnologia de aquecimento especial, etc., fazem o alcance 8% do índice da uniformidade do filme
Consistência alta: usando o conceito de projeto avançado da indústria do semicondutor, o desvio entre as carcaças de um depósito é menos de 2%
Estabilidade alta do processo: O equipamento altamente estável assegura o processo contínuo e estável
Parmetro técnico principal da fornalha elétrica do laboratório SUPER do tubo do CVD:
Nome do produto e modelo | Fornalha elétrica do laboratório SP-1200T-84 |
Tamanho de aquecimento do tubo (OD×L) | Dia80x400mm |
Materiais de isolaço da cmara | fibra de pouco peso do óxido de alumínio cermica |
Temperatura máxima | tempo de funcionamento 1200°C ( < 3="" hours=""> |
Temperatura de trabalho | 400-1100°C (ajustável, por muitos tempos) |
Controle de temperatura | 30 segmentos inteligentes programáveis e controle do PID auto |
Taxa de aquecimento | 1-15℃/min (ajustável) |
Preciso da temperatura | ±1℃ |
Par termoelétrico | Tipo de K |
Elemento de aquecimento | fio de resistência |
Vácuo final | -0.1Mpa |
As especificações da bomba de vácuo modelam | 0.5A, taxa de bombeamento 0.5L/S, poder 120W |
Escudo da fornalha | Escudo dobro com refrigerar do f |
Modo de exposiço da temperatura | Quatro figura líquido Crystal Display |
Poder de trabalho | C.A. 1 fase, 110V-240V, 50Hz/60Hz |
Funço de reposiço | módulo de comunicaço do computador e relaço de comunicaço RS485 instalados, para realizar o controlo a distncia. |
Modelo padro de fornalha de tubo do CVD de SP-1200T
Modelo | Zona de aquecimento (OD×L milímetros) | Poder do trabalho | Especificações da bomba de vácuo |
SP-1200T-53 | Φ50x300 milímetro (2,0" X12”) | C.A. 1-phase/3-phase 110V-400V 50Hz/60Hz. | TW-0.5A; 0.5L/S; 120W; 110V/220V |
SP-1200T-54 | Φ50x400 milímetro (2,0" x16”) | TW-0.5A; 0.5L/S; 120W; 110V/220V | |
SP-1200T-55 | Φ50x500 milímetro (2,0" x20”) | TW-0.5A; 0.5L/S; 120W; 110V/220V | |
SP-1200T-63 | Φ60x300 milímetro (2,5" X12”) | TW-0.5A; 0.5L/S; 120W; 110V/220V | |
SP-1200T-64 | Φ60x400 milímetro (2,5" x16”) | TW-0.5A; 0.5L/S; 120W; 110V/220V | |
SP-1200T-65 | Φ60x500 milímetro (2,0" x20”) | TW-0.5A; 0.5L/S; 120W; 110V/220V | |
SP-1200T-83 | Φ80x300 milímetro (3,2" X12”) | TW-0.5A; 0.5L/S; 120W; 110V/220V | |
SP-1200T-84 | Φ80x400 milímetro (3,2" x16”) | TW-0.5A; 0.5L/S; 120W; 110V/220V | |
SP-1200T-104 | Φ100x400 milímetro (4,0" x16”) | TW-0.5A; 0.5L/S; 120W; 110V/220V | |
SP-1200T-154 | Φ150x400 milímetro (6,0" x16”) | TW-1A; 1L/S; 120W; 110V/220V |
Prazos de entrega:
♥ para alguns fornalhas normais e componentes do tamanho padro, nós temos no estoque; Assim nós podemos mandar em 2-3 dias;
O ♥ outros tamanhos personalizados o prazo de entrega é 15 dias a 20 dias de acordo com o pedido diferente dos produtos.
Nossa garantia:
Uma garantia limitada do ano com apoio da vida, com excluso
do elemento de aquecimento e do tubo cermico danificados pelo
usuário.
Atenço: Nenhuns danos causada pelo uso de gás corrosivos e ácidos, e
nenhum dano do erro operar-se e usar-se no esto sob a cobertura de
uma garantia limitada do ano.