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Sistema de detecço de fugas de hélio de cmara de vácuo para componentes/sólidos de semicondutores
Introduço b do sistema de detecço de fugas de hélio
A soluço consiste num reservatório de hélio sob presso, num reservatório de detecço de fugas e num detector de fugas de espectrómetro de massa de hélio.
Características do sistema de detecço de fugas de hélio
1O conceito exclusivo do circuito de gás melhora a velocidade de bombeamento do hélio, encurta o tempo de limpeza do hélio e impede eficazmente a poluiço do hélio;
2A taxa mínima de vazamento detectável é baixa, a sensibilidade é
elevada e a gama de detecço pode chegar ao nível 12;
3Funções inteligentes de indicaço de falhas e alarme.
Composiço do sistema de detecço de fugas de hélio
A soluço é composta por um reservatório de hélio sob presso, um reservatório de detecço de fugas e um detector de fugas do espectrómetro de massa de hélio.o gás hélio da concentraço especificada
Aplicaço do produto
Indústria dos semicondutores, componentes/sólidos