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Máquina de detecço de fugas do espectrómetro de massa de hélio para a indústria electrónica de semicondutores
Introduço do detector de fugas de hélio
O detector de fugas de espectrometria de massa de hélio é um instrumento para localizaço rápida e mediço quantitativa de fugas em recipientes selados.O método de detecço de fugas de espectrometria de massa de hélio com as características de alta sensibilidade de detecço, de alta velocidade e uma ampla gama de aplicações.
Parmetros do detector de fugas de hélio
Teste de fugas de hélio Wayeal Máquina de detecço de fugas de espectrómetro de massa de hélio | |
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Nome do produto | Detector de fugas de hélio |
Método de detecço | Espectrômetro de massa de hélio |
Porto de detecço de fugas | DN25KF |
Indicaço da taxa de vazamento | Números, gráficos de barras, gráficos |
Tempo de resposta | < 1s |
Interface do usuário | Ecr táctil colorido de 7 polegadas |
Temperatura de funcionamento | 0~40°C |
Presso máxima admissível de detecço de fugas (Pa) | 1800 Pa |
Interface de comunicaço | RS232/485, LAN |
Qualidade detectável | 2, 3, 4 (H2, He-3, He-4) |
Taxa de detecço de fugas mínimas ((Pa.m)3/s) /Modo sniffer | 2.5*10- 9Pa.m.3/s |
Taxa de detecço de fugas mínimas ((Pa.m)3/s) /Modo de vácuo | 5.0*10- 13Pa.m.3/s |
Tempo de arranque (min) | ≤ 1.58 |
Bombas de apoio | Pomba de vácuo de rolagem |
Dimetro | 755*467*1180 mm |
Fornecimento de energia | 220V, 50Hz/60Hz |
Língua | Chinês/Inglês |
Características do detector de fugas de hélio
1Funções de auto-proteço impedem a poluiço do fundo;
2- Presso de evacuaço automática e ajuste do tempo, alta eficiência
de detecço de fugas;
3Funço de aviso de falha e alarme;
4Funço de controlo remoto sem fios (opcional);
Aplicações do detector de fugas de hélio
Energia elétrica, Refrigerador, Bateria de lítio,Médico