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Bolacha do vidro de Borosilicate de quartzo do silicone fundido como bolachas do portador
Devido a sua baixa espessura, as bolachas finas so vulneráveis forçar e ruptura. O entortamento das bolachas durante a manipulaço e o processamento causa uma perda alta do rendimento ou pode mesmo fazê-la impossível segurar as bolachas mais. Isto significa que uma bolacha fina que segura a tecnologia com um alto nível da flexibilidade em tamanhos da bolacha e da carcaça é necessário. As bolachas do portador precisam de ter determinadas propriedades, como: vigor mecnico; resistência química e de alta temperatura; tolerncias incredibly baixas (para baixo a 1 variaço da espessura do μm); e expanso térmica ajustada ao material usado, por exemplo, a arsenieto de gálio (GaAs), a fosforeto de índio (InP), a silicone (si) ou a carboneto de silicone (sic). Além disso, segurando ferramentas precise s vezes de ser apropriado para materiais tais como o GaAs e o si, ou mesmo CMOS compatível.
As bolachas do portador da parte alta feitas do vidro, do quartzo ou do silicone podem cumprir as exigências acima mencionadas. O vidro e o quartzo so materiais excelentes para bolachas do portador devido a suas estabilidade térmica e resistência contra ácidos e outros produtos químicos. A ligaço a e a de-ligaço das bolachas do portador do vidro e do quartzo podem ser monitoradas desde que é transparente. Além disso, as bolachas de vidro do portador podem ser limpadas e reutilizado, assim contribuindo reduço custada e proteço ambiental.
BonTek trabalha em uma variedade de materiais do vidro e de quartzo, no silicone fundido (JGS1, JGS2, JGS3, Corning 7980), no Eagle XG, no Schott BF33, nos Pyrex, no MEMpax, no B270, no D263T, no Zerodur etc.
Material | Silicone fundido UV, quartzo fundido (JGS1, JGS2, JGS3) | ||||||
Especificaço | unidade | 3" | 4" | 5" | 6" | 8" | 12" |
Dimetro (ou quadrado) | milímetro | 76,2 | 100 | 125 | 150 | 200 | 300 |
Tol (±) | milímetro | <0> | |||||
A espessura a mais fina | milímetro | >0,10 | >0,10 | >0,30 | >0,30 | >0,30 | >0,50 |
Plano preliminar | milímetro | 22 | 32,5 | 42,5 | 57.5/notch | entalhe | entalhe |
LTV (5mmx5mm) | µm | <2> | <2> | <2> | <2> | <2> | <10> |
TTV | µm | <8> | <10> | <15> | <20> | <30> | <30> |
Curva | µm | ±20 | ±25 | ±40 | ±40 | ±60 | ±60 |
Urdidura | µm | <30> | <40> | <50> | <50> | <60> | <60> |
PLTV (<0> | % | ≥95% (5mm*5mm) | |||||
Transmitncia |
| UV, ótico, IR ou opço feita sob encomenda | |||||
Arredondamento da borda | milímetro | Complacente com SEMI padro M1.2/refira IEC62276 | |||||
Tipo de superfície |
| Único /Double lustrado lateral toma partido lustrado | |||||
Ra lateral lustrado | nanômetro | <1> | |||||
Critérios do verso | µm | O general é 0.2-0.5µm ou personalizado to | |||||
Aparência | Contaminaço | Nenhum | |||||
Particles>0.3µm | <> | ||||||
Marcas da serra, striations | Nenhum | ||||||
Risco | Nenhum | ||||||
Quebras, marcas da serra, manchas | Nenhum |
Verificaço de aceitaço