

Add to Cart
Conseguindo a integraço fotónica compacta com as bolachas de 4-Inch LNOI
LNOI representa o nióbito do lítio no isolador, que é uma tecnologia especializada da carcaça usada no campo do photonics integrado. As carcaças de LNOI so fabricadas transferindo uma camada fina de cristal em uma carcaça de isolamento, tipicamente dióxido de silicone (SiO2) ou nitreto do nióbito do lítio (LiNbO3) de silicone (Si3N4). Esta tecnologia oferece vantagens originais para o desenvolvimento de dispositivos fotónicos compactos e de capacidade elevada.
A fabricaço de carcaças de LNOI envolve ligar uma camada fina de LiNbO3 em uma camada de isolamento usando técnicas como a ligaço ou o íon-corte da bolacha. Isto conduz a uma estrutura onde LiNbO3 seja suspendido em uma carcaça no-condutora, fornecendo o isolamento elétrico e reduzindo as perdas óticas do medidor de ondas.
Aplicações de LNOI:
Bolacha de LNOI | |||
Estrutura | LN/SiO2/si | LTV/PLTV | < 1="">) do milímetro2do ∗ 5/95% |
Dimetro | ± Φ100 0,2 milímetros | Borda Exclution | 5 milímetros |
Espessura | 500 μm do ± 20 | Curva | Dentro do μm 50 |
Comprimento liso preliminar | ± 47,5 2 milímetros ± 57,5 2 milímetros | Aparamento da borda | ± 2 0,5 milímetros |
Chanfradura da bolacha | R do tipo | Ambiental | Rohs 2,0 |
Camada superior de LN | |||
Espessura média | 400/600±10 nanômetro | Uniformidade | < 40nm=""> |
Índice da refraço | nenhuns > 2,2800, ne < 2=""> | Orientaço | ± 0.3° da linha central de X |
Categoria | Ótico | Ra de superfície | < 0=""> |
Defeitos | >1mm nenhuns; ≦1milímetrodentrode300totais | Delaminaço | Nenhum |
Risco | >1cm nenhuns; ≦1cmdentrode3 | Plano preliminar | Perpendicular ao ± 1° da linha central de +Y |
Isolamento SiO2 camadas | |||
Espessura média | 2000nm ± 100nm do ± 50nm 4700nm do ± 15nm 3000nm | Uniformidade | <> |
Fabuloso. Método | Óxido térmico | Índice da refraço | 1.45-1.47 @ 633 nanômetro |
Carcaça | |||
Material | Si | Orientaço | <100> ± 1° |
Orientaço lisa preliminar | <110> ± 1° | Resistividade | > kΩ 10·cm |
Contaminaço da parte traseira | Nenhuma mancha visível | Parte traseira | Gravura em gua forte |