Hangzhou Freqcontrol Electronic Technology Ltd.
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Bolacha do vidro de Borosilicate de quartzo do silicone fundido como bolachas do portador
Devido a sua baixa espessura, as bolachas finas são vulneráveis forçar e ruptura. O entortamento das bolachas durante a manipulação e o processamento causa uma perda alta do rendimento ou pode mesmo fazê-la impossível segurar as bolachas mais. Isto significa que uma bolacha fina que segura a tecnologia com um alto nível da flexibilidade em tamanhos da bolacha e da carcaça é necessário. As bolachas do portador precisam de ter determinadas propriedades, como: vigor mecânico; resistência química e de alta temperatura; tolerâncias incredibly baixas (para baixo a 1 variação da espessura do μm); e expansão térmica ajustada ao material usado, por exemplo, a arsenieto de gálio (GaAs), a fosforeto de índio (InP), a silicone (si) ou a carboneto de silicone (sic). Além disso, segurando ferramentas precise às vezes de ser apropriado para materiais tais como o GaAs e o si, ou mesmo CMOS compatível.
As bolachas do portador da parte alta feitas do vidro, do quartzo ou do silicone podem cumprir as exigências acima mencionadas. O vidro e o quartzo são materiais excelentes para bolachas do portador devido a suas estabilidade térmica e resistência contra ácidos e outros produtos químicos. A ligação a e a de-ligação das bolachas do portador do vidro e do quartzo podem ser monitoradas desde que é transparente. Além disso, as bolachas de vidro do portador podem ser limpadas e reutilizado, assim contribuindo à redução custada e à proteção ambiental.
BonTek trabalha em uma variedade de materiais do vidro e de quartzo, no silicone fundido (JGS1, JGS2, JGS3, Corning 7980), no Eagle XG, no Schott BF33, nos Pyrex, no MEMpax, no B270, no D263T, no Zerodur etc.
|
Material |
Silicone fundido UV, quartzo fundido (JGS1, JGS2, JGS3) |
||||||
|
Especificação |
unidade |
3" |
4" |
5" |
6" |
8" |
12" |
|
Diâmetro (ou quadrado) |
milímetro |
76,2 |
100 |
125 |
150 |
200 |
300 |
|
Tol (±) |
milímetro |
<0> |
|||||
|
A espessura a mais fina |
milímetro |
>0,10 |
>0,10 |
>0,30 |
>0,30 |
>0,30 |
>0,50 |
|
Plano preliminar |
milímetro |
22 |
32,5 |
42,5 |
57.5/notch |
entalhe |
entalhe |
|
LTV (5mmx5mm) |
µm |
<2> |
<2> |
<2> |
<2> |
<2> |
<10> |
|
TTV |
µm |
<8> |
<10> |
<15> |
<20> |
<30> |
<30> |
|
Curva |
µm |
±20 |
±25 |
±40 |
±40 |
±60 |
±60 |
|
Urdidura |
µm |
<30> |
<40> |
<50> |
<50> |
<60> |
<60> |
|
PLTV (<0> |
% |
≥95% (5mm*5mm) |
|||||
|
Transmitância |
|
UV, ótico, IR ou opção feita sob encomenda |
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|
Arredondamento da borda |
milímetro |
Complacente com SEMI padrão M1.2/refira IEC62276 |
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|
Tipo de superfície |
|
Único /Double lustrado lateral toma partido lustrado |
|||||
|
Ra lateral lustrado |
nanômetro |
<1> |
|||||
|
Critérios do verso |
µm |
O general é 0.2-0.5µm ou personalizado tão |
|||||
|
Aparência |
Contaminação |
Nenhum |
|||||
|
Particles>0.3µm |
<> |
||||||
|
Marcas da serra, striations |
Nenhum |
||||||
|
Risco |
Nenhum |
||||||
|
Quebras, marcas da serra, manchas |
Nenhum |
||||||
Verificação de aceitação