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Configuração técnica (toda nossa máquina pode ser personalizada por seus produtos e necessidades):
1. Estrutura da câmara: estrutura de porta da rua vertical/horizontal ou linha de revestimento contínua. A câmara adota SUS304 material.size pode cliente-ser feita por seus produtos.
2. Engasgando a fonte de alimentação: equipado com a C.C. e o poder médio 60KW-100KW do frenquency
3. Engasgando o alvo: equipado com os alvos de alumínio ou Titanium.
4. Sistema de transmissão: controle de frequência
5. Sistema do vácuo: Bomba da bomba +Mechanical da bomba de difusão (a bomba molecular é opcional) +Roots + bomba de aleta giratória (a bomba criogênica é opcional)
6. Controle de gás: controlador sevenstar do fluxo maciço da multi maneira
7. Sistema de aquecimento: Verificável e ajustável da temperatura ambiente a 350 (controle de temperatura do PID).
9. Modo de controle: operação manual +semiautomatic + integração automática/tela táctil HMI + PLC
10. Outros parâmetros técnicos:
Tempo da bomba: 5*10-2pa<4mins
Vácuo final: 5*10-4pa
Água pressure≥0.2Mpa 3m3/h, água temperature≤25, pressão de gás: 0.4-0.8Mpa