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ITO Máquina de revestimento de teia de vácuo de pulverização de rolos a rolos / Máquina de pulverização PVD de filme PET
Temos o prazer de propor o nosso revestimento de revestimento de vácuo de pulverização de rolos da série MultiWeb para atender aos seus requisitos de deposição de várias camadas.
O MultiWeb Coater fornece as seguintes características principais:
A. Uma câmara dividida em zonas de pressão múltipla para acomodar várias fontes de deposição.
B. Capacidades de deposição simultânea de múltiplas fontes numa única passagem de rede, para revestimento multicamadas.
C. A direção de enrolamento da teia reversível permite a deposição de camadas ilimitadas sem quebrar o vácuo.
D. Mecanismos de manipulação de teia de precisão com guia de borda para permitir passagens múltiplas sem perda de alinhamento (opcional).
E. Sistema de acionamento de webs invertidos AC para controlo preciso de múltiplas velocidades de webs.
F. Sistemas de monitorização de espessura óptica e/ou de resistência em linha, para controlar com precisão a espessura e a uniformidade da deposição (facultativo).
G. A câmara é construída em SUS304L inoxidável com componentes de gaseificação baixa para assegurar um vácuo mais profundo.
H. bombeamento a vácuo por uma combinação de bomba turbo-molecular e criogénica a baixa temperatura, para proporcionar um vácuo limpo sem umidade ou contaminação por óleo.
ITO Máquina de revestimento de teia de vácuo de pulverização de rolos para rolos
1Material de substrato: PET, PEN, PES, PI, PC, PA,...
2Espessura do substrato: 15 a 300 μm
3Métodos de deposição: AC Reativo para SiO2 ((Dielectrico); DC pulsado para ITO (Metal & Condutor)
4TCO do condutor de óxido: ITO, AZO, IZO...
5Condutor de metal: Al, Cu, Mo, Ag...
6- filme óptico: Ta2O5, Nb2O5, SiO2, TiO2...
7Semicondutores: ZnO, InGaZnO...
8Isolador: SiO2, SiNx, AlOx, AlNx...
9Uniformidade: ± 5% em toda a teia
Descrição da máquina de revestimento de teia de vácuo de pulverização de rolos a rolos ITO
Especificações gerais | |||||||
Corpo de câmara de vácuo: zonas de pressão múltipla de câmara única | |||||||
Carros móveis: Carroça | |||||||
Zona de deposição: 2 X Zona de pulverização (opcional: 3 Zona de pulverização) | |||||||
Fonte de pulverização: 2 X Fonte de pulverização de catodo duplo (opcional: 3 Fontes de pulverização de catodo duplo) | |||||||
Pré-tratador de substrato: Fonte de íons lineares | |||||||
Largura da teia: 1300 mm | |||||||
Diâmetro de enrolamento: Φ600 mm Max | |||||||
Direção de enrolamento: bidirecional | |||||||
Espessura do substrato: 15~300 μm | |||||||
Velocidade da Linha Web:0.5~10M/min | |||||||
Tensão da rede: 5,0PLI Max 0,5PLI Min | |||||||
Alinhamento da teia: ±3 mm (uma passagem) | |||||||
Bomba de hi-vácuo: Bomba turbo | |||||||
Bomba de vácuo bruto: combinação de bomba seca e sopro | |||||||
Bomba de humidade: polifria criogénica | |||||||
Controle da espessura da deposição: monitorização (facultativo) | |||||||
a) Transmissão óptica; b) Resistência de corrente Eddy | |||||||
Função do sistema: Função do sistema informático baseado em PLC |
Por favor, entre em contato conosco para mais especificações, a Royal Technology tem a honra de lhe fornecer soluções totais de revestimento.