Revestimento com óxido de índio e estanho,Revestimentos ITO em substratos PET de alta qualidade, equipamento de revestimento a vácuo de filme ITO Think
PET ITO Equipamento de revestimento de vácuo de filme fino é com a tecnologia de pulverização de magentron para gerar filme ITO de alta transparência em materiais de vidro e PET.
Equipamento de revestimento a vácuo de película fina PET ITO Aplicações normalizadas: PET, um substrato de vidro de alta qualidade, como ecrã eletrônico, slide de microscópio revestido com ITO, vidro de proteção transparente, vidro condutor, filme de descongelamento, revestimento de filme de descongelamento,
PET ITO Revestimento a vácuo de película finaConfigurações do equipamento:
1) Fontes de pulverização de CC: Cu, Al, ITO
2) Fontes de pulverização MF
3) Turbo bomba molecular + grupo de bomba de apoio
4) Campo magnético de alta intensidade para melhorar a qualidade do filme ITO, taxa de utilização alvo > 30%
5) Metas de utilização de Cu, Al, Si > 35%
6) Taxa de deposição: 30 nm m/min ~ 40 nm m/min
7) Área de uniformidade de pulverização: 350 mm
PET ITO Revestimento a vácuo de película finaEquipamentoEspecificações normalizadas
| Modelo |
Tamanho ((mm) |
Jigs de substrato (Qty) |
Dispersão
Potência ((kVA)
|
Dispersão
Objetivos (QT)
|
Dispersão
Cátodo
|
MFC |
Observação |
| MSC800 |
Φ800xH800 |
1 |
2*50 DC |
4 |
Frigorífico |
3 |
Revestimento ITO |
| MSC1616 |
Φ1600xH1600 |
6,8 |
2*36 DC |
2 |
Rectangular |
2 |
2 portas |
| |
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