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Máquina de revestimento por pulverização de magnetron DC e MF, soluções de revestimento PVD preto profundo
Revestimento de Magnetron Sputtering
Revestimento de plasma
O magnetron sputtering é um processo de revestimento de plasma pelo qual o material de sputtering é ejetado devido ao bombardeio de íons na superfície do alvo.A câmara de vácuo da máquina de revestimento PVD é preenchida com um gás inerte, como o argônio.Ao aplicar uma alta voltagem, uma descarga de brilho é criada, resultando na aceleração de íons para a superfície do alvo e um revestimento de plasma.Os íons de argônio ejetarão materiais pulverizados da superfície do alvo (sputtering), resultando em uma camada de revestimento pulverizada sobre os produtos na frente do alvo. A tecnologia de magnetron sputtering é caracterizada por:
MODELO | RTAC1250-SPMF | ||||||
TECNOLOGIA | MF Magnetron Sputtering + Ion Plating | ||||||
MATERIAL | Aço inoxidável (S304) | ||||||
TAMANHO DA CÂMARA | Φ1250 * H1250mm | ||||||
TIPO DE CÂMARA | Cilindro, vertical, 1 porta | ||||||
SISTEMA DE PULSAÇÃO | Design exclusivo para deposição de filme preto fino | ||||||
MATERIAL DE DEPOSIÇÃO | Alumínio, prata, cobre, cromo, aço inoxidável, Níquel |
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FONTE DE DEPOSIÇÃO | 2 conjuntos de alvos de pulverização cilíndricos MF + 8 fontes de arco catódico direcionado + fonte de íons para opcional | ||||||
GÁS | MFC- 4 vias, Ar, N2, O2, C2H2 | ||||||
AO CONTROLE | CLP (Controlador Lógico Programável) + | ||||||
SISTEMA DE BOMBA | SV300B - 1 conjunto (Leybold) | ||||||
WAU1001 - 1 conjuntos (Leybold) | |||||||
D60T- 1 conjunto (Leybold) | |||||||
Bombas Moleculares Turbo: 2* F-400/3500 | |||||||
PRÉ-TRATAMENTO | Fonte de alimentação de polarização: 1*36 KW | ||||||
SISTEMA DE SEGURANÇA | Numerosos intertravamentos de segurança para proteger os operadores | ||||||
RESFRIAMENTO | Água fria | ||||||
ENERGIA ELÉTRICA | 480V/3 fases/60HZ (compatível com EUA) | ||||||
460V/3 fases/50HZ (em conformidade com a Ásia) | |||||||
380V/3 fases/50HZ (em conformidade com a UE-CE) | |||||||
PEGADA | L3000*W3000*H2000mm | ||||||
PESO TOTAL | 7,0T | ||||||
PEGADA | (L*W*H) 5000*4000*4000MM | ||||||
TEMPO DE CICLO | 30~40 minutos (dependendo do material do substrato, geometria do substrato e condições ambientais) |
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POTÊNCIA MÁX.. | 155 KW | ||||||
POTENCIA MÉDIA CONSUMO (APROX.) |
75 KW |
Entre em contato conosco para obter mais especificações, a Royal Technology tem a honra de fornecer soluções totais de revestimento.