Múltiplo de R & de D - equipamento MF/C.C. do revestimento de vácuo das funções que engasga cátodos
Equipamento do revestimento de vácuo das Múltiplo-funções do R&D
Palavras-chaves: Os revestimentos duros de PVD, processo de PECVD, filme de DLC, diamante gostam do filme do carbono, engasgando o filme ótico, magnétron de Gencoa que engasga o cátodo, fonte de íon, PA PVD
Características de projeto de RTAC950-SP:
- Flexibilidade: as fontes do arco e do salpico, flanges de montagem lineares dos dispositivos da fonte de íon são estandardizadas para a troca flexível
- Versatilidade: disponível para a variedade do depósito de metais e ligas baixas, revestimentos óticos e revestimentos duros, revestimentos macios. Filmes compostos e filmes de lubrificação contínuos nas carcaças metálicas e não metálicas dos materiais
- Projeto direto: estrutura de porta 2, parte dianteira e abertura traseira para a manutenção fácil.
Especificações técnicas
1. Pressão final do vácuo: melhore do que Pa 8.0*10-4;
- Baseie a pressão do vácuo: Pa 3.0*10-2
3. Tempo ocioso da máquina de bombeamento: do atm aos minutos de 1.0×10-3 Pa≤15 (a temperatura ambiente, seca, limpa e esvazia a câmara)
4. Fonte do depósito: Magnétron de Gencoa que engasga cátodos, cátodos dirigidos do arco, fonte de íon
5. Modelo de funcionamento: Automaticamente /Semi-Auto/ completo manualmente
6. Aquecimento: da temperatura ambiente até o máximo 500℃,
9. Fonte de íon para o processo de PECVD e de PA PVD.
A máquina de revestimento do vácuo contém o sistema da chave terminado alistado abaixo:
1. Câmara de vácuo
1,1 tamanho: Profundidade interna 950mm
Altura interna: 1350mm
1,2 material: Câmara de vácuo SUS304
Porta e flanges SUS304
A câmara reforça a estrutura: Aço SS41 suave, com tratamento de superfície de terminação pintado.
Aço suave do chassi SS41 da câmara com tratamento de superfície de terminação pintado.
1,3 protetor da câmara: SUS304
1,4 janela da vista: em portas da câmara -2
1,5 válvula de ventilação da câmara de vácuo (que inclui o silenciador)
1,6 porta: 2 grupos, partes dianteiras e partes traseiras, material SUS304
2. Sistema de bombeamento do vácuo do Roughing:
Bomba de vácuo giratória da aleta do óleo + guardando a bomba
3. Sistema de bombeamento do vácuo alto:
Bomba molecular do turbocompressor - 2 grupos
4. Sistema bonde de ScreenOperation do toque do sistema PLC+ do controle e da operação:
Fornecedores:
PLC: Mitsubishi, modelo: SÉRIE FX-IN60MR-001
Componentes eletrônicos: SCHNEIDER, OMRON.
Sistema de proteção da segurança: Interruptores de segurança numerosos para proteger operadores e equipamento (água, gás atual, temperatura etc.)
O revestimento processa o sistema: Automatização & controle de processo. Salvar automaticamente na memória por 3 meses. Dados de revestimento caracterizados das receitas: a corrente da operação do alvo/tensão, fluxo maciço, pressão do vácuo, temperatura, épocas de revestimento salvar para que uma análise aumente a qualidade dos revestimentos.
4,1 circuito do cano principal: interruptor do disjuntor do Nenhum-fusível, interruptor eletromagnético, tipo de C/T em série
4,2 fonte de alimentação: MF que engasga o poder do arco do poder + da C.C. + fonte de alimentação diagonal
4,3 sistema de controlo do depósito
4,4 sistema da operação: Tela táctil + PLC, controle da receita e registro de dados, auto parada programada, auto evacuação, auto revestimento
4,5 sistema de medição
Pressão do vácuo: Calibre de vácuo: Pirani + encerrando o calibre + calibre de vácuo da série completa -- Tipo de Europa
Dispositivo de medição da temperatura: Par termoelétrico
MFC: Controlador do fluxo maciço (4 maneiras),
4,6 sistema de alarme: Pressão de ar comprimido, volume de água refrigerando, Mis-operação
4,7 indicador da carga do poder: Indicador da tensão e indicador da corrente da carga
5. sistema do depósito
5,1 fonte do depósito: Engasgando fontes do arco de cathodes+ + fonte de íon
5,2 material do depósito: ITO, titânio, Chrome, alumínio, de aço inoxidável, TiAl etc.
6. Subsistema
6,1 sistema de controlo comprimido da válvula do ar
6,2 abastecimento de água refrigerando: Sistema da válvula da tubulação e do interruptor do volume de água
7. Ambiente de trabalho
Ar comprimido: 5~8kg/cm2
Água refrigerando: Água-Na temperatura: 20~25℃, 200 litros/minuto,
Água-Na pressão: 2~3 kg/cm2,
Poder: 3 fase 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, consumo de potência média: 60KW
Área da instalação: (L*W*H) 4400*3200*2950mm
Exaustão: Respiradouro para as bombas mecânicas
Aplicações
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