Magnétron do laboratório que engasga o sistema de revestimento do vácuo
1. O UHV que engasga o sistema é equipado com
- C.C. que engasga armas para depositar os materiais semi-condutores e não-condutores (si, SiO2, Al2O3, Si3N4, Cr2O3, ITO e outros materiais).
- RF que engasga a arma para depositar o alumínio, a prata, o ouro materiais condutores etc.
- As fontes da fonte de alimentação da C.C. e do RF podem ser flexíveis trocado.
2. O UHV que engasga aplicações de sistema de
- Revestimentos condutores em materiais poliméricos, madeira, telas em baixas temperaturas menos ℃ de 100
Aplicação de revestimentos condutores no vidro, na cerâmica e em outros materiais dielétricos.
3. Desempenho técnico:
3. 1 pressão final do vácuo: melhore do que os Torr 5.0×10-6.
3. 2. pressão de funcionamento do vácuo: Torr 1.0×10-4.
3. 3. tempo de Pumpingdown: de 1 atm a 1.0×10-4 Torr≤ 3 minutos (a temperatura ambiente, seca, limpa e esvazia a câmara)
3. 4. metalizando o Al, o Cr, o Sn, o si, SS, o Cu (engasgando) materiais… etc.
3. 5. modelo de funcionamento: Automaticamente /Semi-Auto/ completo manualmente
4. estrutura
O UHV que engasga a máquina de revestimento do vácuo contém o sistema da chave terminado alistado abaixo:
1. Câmara de vácuo
2. Sistema de bombeamento do vácuo de Rouhging (pacote da bomba do revestimento protetor)
3. Sistema de bombeamento do vácuo alto (bomba de difusão)
4. Sistema bonde do controle e da operação
5. Sistema da facilidade de Auxiliarry (subsistema)
6. Sistema do depósito
Para mais especificações, contacte-nos por favor. Os inquéritos personalizados são dados boas-vindas.
