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4H SiC espessura da bolacha de sementes 600±50μm <1120> Personalização Crescimento de carburo de silício
O cristal de semente de SiC é na verdade um pequeno cristal com a mesma orientação cristalina do cristal desejado, que serve como semente para o crescimento de um único cristal.Usando cristais de sementes com diferentes orientações cristalinasPor conseguinte, são classificados de acordo com as suas finalidades: cristais de sementes de cristal único puxados por CZ, cristais de sementes de fusão por zona,Cristal de sementes de safiraNeste número, vou compartilhar com você principalmente o processo de produção de cristais de sementes de carburo de silício (SiC),Incluindo a selecção e a preparação de cristais de sementes de carburo de silício, métodos de crescimento, propriedades termodinâmicas, mecanismos de crescimento e controlo do crescimento.
1- Espaço de banda larga.
2. Alta condutividade térmica
3Alta força do campo de ruptura crítica.
4. Alta taxa de deriva de elétrons de saturação
Orifícios de sementes de carburo de silício | |
Politipo | 4H |
Erro de orientação da superfície | 4° em direcção a < 11-20> ± 0,5o |
Resistividade | personalização |
Diâmetro | 205±0,5 mm |
Espessura | 600 ± 50 μm |
Resistência à corrosão | CMP,Ra≤0,2 nm |
Densidade dos microtubos | ≤ 1 ea/cm2 |
Arranhões | ≤ 5, comprimento total ≤ 2* diâmetro |
Chips de borda/indentos | Nenhum |
Marcação com laser frontal | Nenhum |
Arranhões | ≤ 2, comprimento total≤ diâmetro |
Chips de borda/indentos | Nenhum |
Áreas de politipo | Nenhum |
Marcação a laser traseira | 1 mm (a partir da borda superior) |
Margem | Chamfer |
Embalagem | Caixa de vídeo de multi-wafer |
O cristal de semente de carburo de silício é utilizado para a preparação de carburo de silício.
Os cristais únicos de carburo de silício são tipicamente cultivados usando o método de transporte de vapor físico.Os passos específicos deste método envolvem a colocação de pó de carburo de silício na parte inferior de um cadinho de grafite e a colocação de um cristal de semente de carburo de silício na parte superior do cadinhoO pó de carburo de silício decompõe-se em substâncias de fase de vapor, tais como vapor de Si, Si2C e SiC2.Estas substâncias sublimam para o topo do cadinho sob a influência de um gradiente de temperatura axialAo atingir o topo, eles se condensam na superfície do cristal de semente de carburo de silício, cristalizando em um cristal único de carburo de silício.
O diâmetro do cristal da semente precisa corresponder ao diâmetro do cristal desejado.
2.4h-N 100um pó abrasivo de carburo de silício para crescimento de cristais SIC