Fornalha do revestimento do CVD para as ferramentas de carboneto do CNC que revestem o serviço com a camada preta do ouro
1. Grupo do conjunto
A fornalha do revestimento do CVD consiste em seis porções: bancada, câmara da reação, tampa do aquecimento, tampa refrigerando, guindaste do trilho, condensador.
Os sistemas principais são abastecimento de água refrigerando, sistema de bomba, sistema do tube&pipeline do gás, sistema aerodinâmico e sistema de controlo elétrico.
2. Ambiente de trabalho da fábrica
2,1 umidade e temperatura ambientais
2.1.1 umidade ambiental: <90% (em +35°C)
2.1.2 temperatura ambiental: 5℃~40℃
2,2 fonte de alimentação
2.2.1 fonte de alimentação: 380V±10%, 50Hz, sistema de cinco fios trifásico
2.2.2 fonte de alimentação do controle: 210V~250V, 50Hz, fase monofásica
2,3 fonte de ar
2.3.1 pressão de ar comprimido: 6-7bar,
2.3.2 pressão da AR: 2-3bar,
2.3.3 pressão e fluxo de H2: 2-3bar, 0-75slm
2.3.4 pressão e fluxo de N2: 2-3bar, 0-50slm
2.3.5 pressão e fluxo do CO: 2-3bar, 0-2.5slm
2.3.6 pressão e fluxo do CO2: 2-3bar, 0-5slm
2.3.7 pressão e fluxo do CH4: 2-3bar, 0-5slm
2.3.8 pressão e fluxo do HCl: 2-3bar, 0-5slm
2.3.9pressãoefluxode H2S: 2-3bar,0-0.4slm
2,4 nascente de água
2.4.1 pressão de entrada da água refrigerando: 2-3bar, água pura é recomendado. A temperatura é 13-16°C. (os clientes precisam de ser equipados com água refrigerada), volume de água refrigerando, 5m3/h.
2.4.2 nascente de água à espera da emergência (para ser preparado pelo usuário)
Pressão: 1.5bar-2bar.
3. Forças do equipamento
1. Espaço pequeno e disposição razoável.
2. Alto nível da automatização.
o equipamento 3.Supporting auxiliar tal como o dispositivo da neutralização do gás da cauda, o dispositivo do tetracloreto do titânio, a barra do gás, etc. de enchimento, pode ser fornecido.
4. O sistema controle de processos é conducente ao R&D independente de processos novos
