RDE 530L Máquina de revestimento CVD com duas câmaras de reação e elementos de aquecimento
1.EquipamentoForças
1.1 Modo automático. De acordo com as configurações do processo, os componentes e processos individuais são controlados automaticamente. O controlo automático inclui interruptor de válvula, controlo do caudal do gás do processo,Controle do fluxo de líquidos de processo, controlo da pressão do reator, controlo da temperatura do forno de aquecimento e da correia de aquecimento eléctrica, etc., sem intervenção humana em todo o processo.O processo de operação automática realiza o processamento automático de alarmeDe acordo com os diferentes tipos de alarme, ele entrará automaticamente no modo de alarme para proteger os produtos no forno.pode ser restaurado manualmente para o estado antes do alarme.
1.2O processo é monitorizado durante todo o processo, todos os dados dos sensores e o estado da válvula são salvos em dados históricos, que podem ser visualizados a qualquer momento.
1.3- modo manual. Há um bloqueio de segurança, que realiza automaticamente o bloqueio de acordo com o tipo de gás e a temperatura dentro do reator, e o reator não pode ser aberto à vontade.O modo manual é definido com uma operação de botão, tais como aspirador, H2limpeza, N2Não é necessário mover manualmente as válvulas e as bombas de vácuo.
1.4Os dados do alarme são salvos automaticamente e os dados históricos podem ser recuperados a qualquer momento.
2 Parâmetros técnicos principais
1Tensão de alimentação: 380 V 50 Hz;
2Temperatura máxima: 1100°C;
3Temperatura de funcionamento: 900-1050°C;
4Potência total: cerca de 75 kW;
5Potência de aquecimento: cerca de 55 kW;
6Número de câmaras de reação: 2
7Dimensão efectiva da câmara de reacção: φ500 (diâmetro interno) mm×1500 (efectiva)
altura) mm;
8. Tamanho da ocupação (l × w × h): 8100 × 7000 × 5100 mm;
9- Peso do equipamento: cerca de 10 toneladas
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