Suzhou Unite Precision Technology Co., Ltd.
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Curto curso Servo de circuito fechado de alta resposta XYZ Modulo linear de movimento para máquina CNC
O projeto cilíndrico do VCM (motor de bobina de voz) utiliza uma estrutura tubular que abriga os seus componentes básicos.ambos alinhados ao longo do eixo central do motorA bobina é geralmente enrolada em torno de um cilindro oco, enquanto o ímã permanente envolve a bobina.A precisão e a capacidade de resposta do motor de bobina de voz cilíndrica VCM são fundamentais para atingir os requisitos rigorosos do processo de fabricação de semicondutores.Permite a manipulação precisa da wafer, garantindo a produção consistente e de alta qualidade de dispositivos semicondutores.
Manipulação em aplicações de semicondutores:
Manuseio de wafer: Durante a fabricação de semicondutores, as wafers precisam ser posicionadas com precisão para uma variedade de processos.o motor cilíndrico VCM está integrado no sistema de manuseio de wafer para permitir um alinhamento preciso.
Alinhamento: Quando uma bolacha precisa ser posicionada para um processo específico, o sistema de controle envia um sinal para o VCM. A corrente flui através de uma bobina, criando um campo magnético.A interação entre este campo magnético e os ímãs permanentes cria uma força que move a bobina e a carga ligada (wafer) para a posição desejada.
Controle de feedback: para garantir a precisão, o movimento da VCM é monitorado por um sistema de feedback.Se for detectado qualquer desvio da posição-alvo, o sistema de controlo ajusta a corrente que flui através da bobina para corrigir a posição.
Alta precisão: O motor cilíndrico VCM utiliza um mecanismo de acionamento direto, resultando em alta precisão.resultando num posicionamento preciso.
| Modelo de produto | Força de pico | Força contínua | Aceleração total | Corrente de pico | Tensão de pico | Constante de empuxo | Resolução do codificador | Repetir precisão |
| VCAR0006-0050-00A | 6.2 | 2.6 | 5 | 1.7 | 15.7 | 3.57 | 0.1/0.5/1 | 1/5/10 |
| VCAR0013-0072-00A | 13 | 4.2 | 7.2 | 2.3 | 26.6 | 5.72 | 0.1/0.5/1 | 1/5/10 |
| VCAR0022-0098-00A | 22 | 6.5 | 9.8 | 3.8 | 24.7 | 5.8 | 0.1/0.5/1 | 1/5/10 |
| VCAR0033-0099-00A | 33 | 8 | 9.9 | 4.5 | 24.3 | 5.87 | 0.1/0.5/1 | 1/5/10 |
| VCAR0044-0249-00A | 44 | 11.7 | 24.9 | 4.95 | 44.9 | 8.88 | 0.1/0.5/1 | 1/5/10 |
| VCAR0070-0149-00A | 70 | 27.3 | 14.9 | 4 | 26.9 | 17.7 | 0.1/0.5/1 | 1/5/10 |
| VCAR0087-0062-00A | 87 | 21.67 | 6.2 | 6.85 | 34.5 | 12.7 | 0.1/0.5/1 | 1/5/10 |
| VCAR0262-0112-00A | 262 | 111 | 11.2 | 6.4 | 35.1 | 41 | 0.1/0.5/1 | 1/5/10 |
| VCAR0262-0249-00A | 262 | 112 | 24.9 | 10.1 | 28.2 | 26 | 0.1/0.5/1 | 1/5/10 |
| VCAR0436-0250-00A | 436 | 167 | 25 | 11.7 | 31.6 | 37.2 | 0.1/0.5/1 | 1/5/10 |
| VCAR1351-0310-00A | 1351 | 376.8 | 3 | 19.9 | 73.5 | 68 | 0.1/0.5/1 | 1/5/10 |
Módulo de eixo único de motor de bobina de voz para aplicações de servo de circuito fechado de curso curto, com peso leve do atuador e resposta rápida (até 20 G em milissegundos).A base adota máquinas de precisão de alumínio de aviação, boa estabilidade, pode fazer oscilação de alta velocidade e movimento recíproco. controle simples e confiável, não é necessário dispositivo de reversão, longa vida sem manutenção. posição de precisão, velocidade,é possível controlar a aceleração e o empurrãoEquipado com um codificador e um trilho de guia adequados, a precisão de posicionamento pode atingir 0,1-5um.Os requisitos de empuxo estão configurados com condutores e controladores adequados. A estrutura da plataforma pode ser processada e personalizada. De acordo com diferentes aplicações, é configurado um mecanismo de guia linear adequado: diferentes tipos de trilhos de guia linear de alta precisão.
Indicadores técnicos e especificações podem ser personalizados
Queremos que sejas feliz!