Chongqing Newsin Technology Co., Ltd
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Índices técnicos principais:
1. vácuo final: Pa do ³ ≤6.6X10
2. o sistema da aquisição do vácuo adota a bomba molecular + unidade mecânica da bomba
3. o bombeamento contínuo por 30 minutos, o grau do vácuo é inferior ou igual a Pa do ³ 8x10
4. os alvos cilíndricos engasgar podem trabalhar independentemente ou ao mesmo tempo
5. a carcaça ≤60mm no diâmetro, pode ser aquecida a ≤700℃, com refrigerar de água, velocidade ajustável, momento ajustável da carcaça da base do alvo
| Componente | Composição e especificações | |
| Câmara de vácuo | Número | Única câmara |
| Material | 304 de aço inoxidável | |
| Formulário | Estrutura vertical cilíndrica | |
| Dimensão | Φ300XH250 | |
| Selo superior | Selo de borracha do flúor | |
| Bocal |
Contém a relação do calibre de vácuo dois, diversa engasgar do magnétron relação de alvo, uma relação da válvula de vácuo alto, uma relação da tubulação da drenagem, relação da janela de observação, relação de três válvulas, relação três e mecanismo de funcionamento de relação dois elétrica introdução. |
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| Modo de abertura | Dispositivo de levantamento da tampa superior sem levantamento superior | |
| Iluminação/que seca |
lâmpada da iluminação 1x1000W, secagem da lâmpada do halogênio 1x1000w, secando temperatura dentro de 200℃ |
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| Sistemas de bombeamento do vácuo | bomba principal | Bomba molecular 1pc |
| forepump | bomba mecânica da aleta 6L giratória | |
| bomba do revestimento protetor | ||
| válvula |
A válvula de vácuo alto adota o vácuo ultrahigh 1pc, sangra a válvula adota a parada do vácuo ultrahigh válvula três |
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| Tubulação/comum |
Tubo de aço inoxidável da precisão, composto dos foles, rapidamente descarregue a rua e o cartão dobro junção da luva |
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| Sistema de medição do vácuo | O calibre de vácuo composto, calibre adota todo o calibre desencapado do metal | |
| Magnétron que engasga o sistema | Magnétron que engasga a fonte | Um ou dois magnétrons R60 que engasgam alvos |
| Posição de montagem do alvo | Placa da câmara de vácuo | |
| Fonte de alimentação | DC0.5KW, RF0.5KW cada 1pc | |
| tamanho do alvo | Alvo de cobre redondo Φ60x2pcs | |
| Operação do defletor | Eixo direto 1pc | |
| Sistema da carcaça | Tamanho/quantidade da carcaça | Φ≤60mm, 1pc |
| Rotação da carcaça | autoroatation, velocidade 0-120/minute | |
| Torque da base do alvo | 10cm, é ajustável (±5cm) | |
| Aquecimento da carcaça | Pode ser aquecido abaixo de 700℃, com refrigerar de água | |
| controle de temperatura | Controle do PID, a precisão de controle ±1℃ | |
| Sistema de refrigeração da água | refrigerar do alvo |
Com uma tubulação de água refrigerando e nenhuma água refrigerando ou insuficiente pressão de água refrigerando, a água o relé da pressão é desligado e a fonte de alimentação do alvo é cortada para impedir fora o alvo do superaquecimento |
| Vácuo - sistema de refrigeração | Refrigerar molecular da bomba | |
| Refrigerar da carcaça | Refrigerar de água refrigerando | |
| Sistema de entrega do gás | Transportando o modo |
o gasoduto e a válvula de carregamento são passados com o vácuo parede da câmara |
| Controle de gás | Controlador do fluxo maciço do MFC | |
| Quadro | estrutura | Quadro de alumínio |