Chongqing Newsin Technology Co., Ltd
engaged in the Manufacturing, Sales, Research of chemicals and special materials.
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Índice principal do parâmetro:
1.: a câmara final do revestimento de vácuo é ≤6.6X10-5Pa; o tempo de bombeamento: 30 minutos são melhores do que 8X10-4Pa
2. alvo: 4 pés de alvo da rotação (com protetor), revolução, rotação e exploração, distância da carcaça do alvo ajustável (30-90mm)
3. rotação da carcaça: revolução, rotação de duas amostras de protetor da toga
4. temperatura de aquecimento da carcaça: o uso de placa de aquecimento blindada, ajustável 0-800℃ contínuo; usando o instrumento de controle da temperatura para a medida da temperatura e o controle automáticos do PID, precisão de controle ±1℃ da temperatura
5. medidor de fluxo maciço do MFC de 2 maneiras (escala: 0-100sccm) controla o fluxo do gás
6. sistema de controlo: controle do tela táctil +PLC