Shanghai GaNova Electronic Information Co., Ltd.
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Substrato 4H-SiC de 6 polegadas N-Type D Grau 350,0±25,0μm MPD≤5/cm2 Resistividade 0,014Ω•cm—0,028Ω•cm para dispositivos de energia e micro-ondas
Visão geral
O carboneto de silício (SiC) é um sólido de rede covalente.Se olharmos para a sua estrutura, veremos que os átomos de silício estão ligados aos átomos de carbono com a ajuda de uma ligação covalente tetraédrica.
Oferecemos uma solução completa de material SiC com especificações flexíveis.
Epicamadas grossas Com ou sem tampão
Estruturas multicamadas Vários níveis de dopagem, incluindo junções pn
Epitaxia em processo Estruturas embutidas e enterradas, camadas de contato
| Propriedade | Grau P-MOS | Grau P-SBD | grau D |
| Forma de Cristal | 4H | ||
| Politipo | Nenhum permitido | Área≤5% | |
| (MPD)a | ≤0,2 /cm2 | ≤0,5 /cm2 | ≤5 /cm2 |
| Placas sextavadas | Nenhum permitido | Área≤5% | |
| Policristal Hexagonal | Nenhum permitido | ||
| Inclusõesa | Área≤0,05% | Área≤0,05% | N / D |
| Resistividade | 0,015Ω•cm—0,025Ω•cm | 0,015Ω•cm—0,025Ω•cm | 0,014Ω•cm—0,028Ω•cm |
| (EPD)a | ≤4000/cm2 | ≤8000/cm2 | N / D |
| (TED)a | ≤3000/cm2 | ≤6000/cm2 | N / D |
| (BPD)a | ≤1000/cm2 | ≤2000/cm2 | N / D |
| (TSD)a | ≤600/cm2 | ≤1000/cm2 | N / D |
| Falha de Empilhamento | ≤0,5% Área | ≤1% Área | N / D |
|
Contaminação de Superfície Metálica |
(Al, Cr, Fe, Ni, Cu, Zn, Pb, Na, K, Ti, Ca, V, Mn) ≤1E11 cm-2 |
||
| Diâmetro | 150,0 mm +0 mm/-0,2 mm | ||
| Orientação da Superfície | Fora do eixo: 4° na direção de <11-20> ± 0,5 ° | ||
| Comprimento Plano Primário | 47,5 mm ± 1,5 mm | ||
| Comprimento Plano Secundário | Sem Apartamento Secundário | ||
| Orientação Plana Primária | Paralelo a <11-20>±1° | ||
| Orientação Plana Secundária | N / D | ||
| Desorientação ortogonal | ±5,0° | ||
| Acabamento de superfície | Face C: Polimento óptico, Face Si: CMP | ||
| borda de bolacha | Chanframento | ||
|
Rigidez da superfície (10μm × 10μm) |
Si Face Ra≤0,20 nm ； C Face Ra≤0,50 nm | ||
| Grossuraa | 350,0 μm ± 25,0 μm | ||
| LTV (10 mm × 10 mm)a | ≤2μm | ≤3μm | |
| (TTV)a | ≤6μm | ≤10μm | |
| (ARCO)a | ≤15μm | ≤25μm | ≤40μm |
| (Urdidura)a | ≤25μm | ≤40μm | ≤60μm |
| Chips/Recuos | Nenhum permitido ≥0,5 mm de largura e profundidade | Qtd.2 ≤1,0 mm Largura e Profundidade | |
|
Arranhõesa (Si Face,CS8520) |
≤5 e comprimento cumulativo≤0,5 × Diâmetro da bolacha |
≤5 e comprimento cumulativo≤1,5 × Wafer Diâmetro |
|
| TUA (2mm*2mm) | ≥98% | ≥95% | N / D |
| Rachaduras | Nenhum permitido | ||
| Contaminação | Nenhum permitido | ||
| Propriedade | Grau P-MOS | Grau P-SBD | grau D |
| Exclusão de Borda | 3mm | ||
Observação: a exclusão de borda de 3 mm é usada para os itens marcados coma.
Sobre nós
Nós nos especializamos no processamento de uma variedade de materiais em wafers, substratos e peças personalizadas de vidro óptico. Componentes amplamente utilizados em eletrônica, óptica, optoeletrônica e muitos outros campos.Também trabalhamos em estreita colaboração com muitas universidades nacionais e estrangeiras, instituições de pesquisa e empresas, fornecendo produtos e serviços personalizados para seus projetos de P&D.É nossa visão manter um bom relacionamento de cooperação com todos os nossos clientes por nossa boa reputação.
Perguntas frequentes
Q: você está negociando empresa ou fabricante?
Nós somos fábrica.
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Sim, podemos oferecer a amostra gratuitamente, mas não pagamos o custo do frete.
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