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2 polegadas GaN Undoped em carcaças da safira para o diodo emissor
de luz e a tecnologia de circuito integrado da iluminaço
Os produtos do molde de PAM-XIAMEN consistem em camadas cristalinas
de nitreto do gálio (GaN), do nitreto de alumínio (AlN), do nitreto
de alumínio do gálio (AlGaN) e do nitreto do gálio do índio
(InGaN), que so depositados em carcaças da safira. Os produtos do
molde de PAM-XIAMEN permitem 20-50% vezes de ciclo mais curtos da
epitaxia e umas camadas epitaxial mais de alta qualidade do
dispositivo, com melhor qualidade estrutural e condutibilidade
térmica mais alta, que podem melhorar dispositivos no custo, no
rendimento, e no desempenho.
O PAM-XIAMEN'sGaN em moldes da safira está disponível nos dimetros
de 2" até 6", e consiste em uma camada fina de GaN cristalino
crescida em uma carcaça da safira. moldes Epi-prontos agora
disponíveis.
Mostra aqui a especificaço de detalhe:
2inch carcaças Undoped de GaN/safira
Artigo | PAM-T-GaN-50-U |
Dimenso | 50,8 ±0.1 milímetro |
Espessura | μm 5 ±1 |
Orientaço de GaN | Plano de C (0001) fora do ngulo para a Um-linha central 0,2 ±0.1° |
Plano da orientaço de GaN | (1-100) 0 ±0.2°, 16 ±1 milímetro |
Tipo da conduço | N-tipo |
Resistividade (300K) | < 0=""> |
Concentraço de portador | <5x10>17CM-3 |
Mobilidade | ~ 300cm2/V·s |
Densidade de deslocaço | < 5x10="">8cm-2 (calculado por FWHMs de XRD) |
Estrutura | 5 ±1 μm GaN/~ 50 safira do μm do amortecedor layer/430 ±25 do uGaN do nanômetro |
Orientaço da safira | Plano de C (0001) fora do ngulo para a M-linha central 0,2 ±0.1° |
Plano da orientaço da safira | (11-20) 0 ±0.2°, 16 ±1 milímetro |
Aspereza de superfície: | Parte anterior: Lado<0> de RaBack: gravado ou lustrado. |
Área útil | > 90% (excluso dos defeitos da borda e do macro) |
Pacote | cada um no único recipiente da bolacha, sob a atmosfera do nitrogênio, embalada no quarto desinfetado da classe 100 |
2inch carcaças Undoped de GaN/safira
Relatório de FWHM e de XRD
Um relatório de teste é necessário para mostrar a conformidade
entre a descriço feita sob encomenda e nossos dados finais das
bolachas. Nós testaremos o characerization da bolacha pelo
equipamento antes da expediço, testando a aspereza de superfície
pelo microscópio atômico da força, o tipo pelo instrumento romano
dos espectros, a resistividade pelo equipamento de testes da
resistividade do no-contato, a densidade do micropipe pelo
microscópio de polarizaço, a orientaço pelo raio X Orientator etc.
se as bolachas cumprem a exigência, nós limparemos e para
embalá-los no quarto desinfetado de 100 classes, se as bolachas no
combinam as especs. do costume, nós retirá-las-emos.
Projeto de teste: Projeto de FWHM e de XRD
A largura completa da metade-altura (FWHM) é uma expresso da escala
das funções dadas pela diferença entre dois valores extremos da
variável independente igual metade de seu máximo. Ou seja está a
uma largura da curva espectral medida entre aqueles pontos na
Y-linha central, que é metade da amplitude máxima.
Está abaixo um exemplo de FWHM e de XRD do molde de AlN:
FWHM e XRD do molde de AlN
FWHM e XRD do molde de AlN
Aqui nós mostramos a experiência como um exemplo:
Experiência em GaN na safira: Propriedades Optoelectronic e
caracterizaço estrutural de filmes grossos de GaN em carcaças
diferentes com o depósito do laser pulsado:
Experiência em GaN na safira: Propriedades Optoelectronic e
caracterizaço estrutural de filmes grossos de GaN em carcaças
diferentes com o depósito do laser pulsado:
Todas as amostras do filme de GaN foram depositadas em carcaças
diferentes por PLD no ◦C 1000 em uma atmosfera ambiental do plasma
do nitrogênio. A cmara foi bombeada para baixo aos Torr 10−6 antes
que o processo do depósito começou, e o gás do N2 (com uma pureza
de 99,999%) foi introduzido. A presso de funcionamento uma vez que
o plasma do N2 foi injetado era o Torr 1,13 do × 10−4. Um laser do
excimer de KrF (λ = 248 nanômetro, Lambda Physik, Fort Lauderdale,
FL, EUA) foi empregado como a fonte da ablaço e operado com uma
taxa da repetiço de 1 hertz e de uma energia de pulso de 60 mJ. A
taxa de crescimento média do filme de GaN era aproximadamente 1
µm/h. O raio laser era incidente em um alvo de gerencio em um ngulo
de 45◦. O alvo de GaN foi fabricado por HVPE e por grupo em uma
distncia fixa de 9 cm da carcaça antes de ser girado em 30 RPM
durante o depósito do filme. Neste caso, ~4 filmes µm-grossos de
GaN foram crescidos em um molde de GaN/safira (amostra A), safira
(amostra B), si (111) (amostra C), e si (100) (amostra D). Para o
GaN na amostra A, uma camada de 2-µm GaN foi depositada em primeiro
lugar na carcaça da safira pelo MOCVD. A microscopia de elétron da
exploraço (SEM, S-3000H, Hitachi, Tóquio, Japo), o microcopy do
elétron da transmisso (TEM, H-600, Hitachi, Tóquio, Japo), a
microscopia atômica da força (AFM, DI-3100, Veeco, New York, NY,
EUA), a difraço de raio X do dobro-cristal (XRD, X'Pert PRO MRD,
PANalytical, Almelo, os Países Baixos), o photoluminescence de
baixa temperatura (PL, Flouromax-3, Horiba, Tóquio, Japo), e a
espectroscopia de Raman (Jobin Yvon, Horiba, Tóquio, Japo) foram
empregados para explorar a microestrutura e as propriedades óticas
dos moldes de GaN depositados em carcaças diferentes. As
propriedades elétricas dos filmes de GaN foram determinadas pela
medida de Van der Pauw-Salo sob o nitrogênio líquido que refrigera
em 77 K
Figura 2 mostra uma comparaço dos testes padrões típicos de XRD de
0002) filmes de GaN (crescidos em carcaças diferentes. Pode-se ver
que há uma variaço no valor de FWHM (dos 0002) picos da difraço, e
as intensidades do pico da difraço de GaN nas carcaças diferentes
foram obtidas ao redor de 34,5 graus. A intensidade de GaN (0002)
na amostra A é a mais forte entre todas as amostras, que indica que
os filmes de GaN no molde de GaN/safira altamente c-esto orientados
e têm a melhor qualidade cristalina. O FWHM de GaN (0002) avalia
para as amostras A, B, C, e D foi medido em 0.19◦, 0.51◦, 0.79◦, e
1.09◦, respectivamente. Contudo, a intensidade máxima de XRD
aumenta enquanto FWHM diminui; isto é atribuído ao aumento no
tamanho do cristalite devido agregaço de grões pequenas ou ao
movimento do limite de gro durante o processo do crescimento. Desde
que o FWHM do pico da difraço de XRD é relativo ao tamanho de gro
médio do cristalite no filme [26], o tamanho de gro de GaN crescido
nas carcaças diferentes é calculado usando a equaço de
Debye-Scherer [27]: D = 0.9λ/FWHMcosθ (1) onde D é o tamanho do
cristalite, λ so o comprimento de onda do raio X, e o θ é o ngulo
da difraço. Os tamanhos do cristalite de amostras A, B, C, e D so
calculados para ser 57, 20, 13, e 9 nanômetro, respectivamente.
Estes resultados indicam que a qualidade cristalina dos filmes de
GaN crescidos nas amostras A e B é melhor do que aquela dos filmes
crescidos em amostras C e D. Appl. Sci. 2017, 7, 87 3 de 9
GaN/moldes da safira so altamente ‐ de c orientado e têm a melhor
qualidade cristalina. O FWHM de GaN (0002) avalia para as amostras
A, B, C, e D foi medido em 0.19°, 0.51°, 0.79°, e 1.09°,
respectivamente. Contudo, a intensidade máxima de XRD aumenta
enquanto FWHM diminui; isto é atribuído ao aumento no tamanho do
cristalite devido agregaço de grões pequenas ou ao movimento do
limite de gro durante o processo do crescimento. Desde que o FWHM
do pico da difraço de XRD é relativo ao tamanho de gro médio do
cristalite no filme [26], o tamanho de gro de GaN crescido nas
carcaças diferentes é calculado usando a equaço de Scherer do ‐ de
Debye [27]: D = 0.9λ/FWHMcos θ (1) onde D é o tamanho do
cristalite, λ so o comprimento de onda do raio do ‐ de X, e o θ é o
ngulo da difraço. Os tamanhos do cristalite de amostras A, B, C, e
D so calculados para ser 57, 20, 13, e 9 nanômetro,
respectivamente. Estes resultados indicam que o c
Figura 2. resultados das medidas de (XRD) da difraço de raio X dos
filmes de GaN crescidos em carcaças diferentes
Concluso: os lms grossos do fi de GaN crescidos em um molde de
GaN/safira, na safira, no si (111), e no si (100) por PLD de alta
temperatura. O efeito da carcaça na qualidade cristalina do
crescimento de GaN, a morfologia de superfície, o comportamento do
esforço, e a propriedade da relaço foram estudados, se você precisa
mais informações sobre o produto, inquirem-nos por favor.