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tipo sic bolacha de 6H N, categoria da pesquisa, Epi pronto, 2"
tamanhos
PAM-XIAMEN oferece bolachas do carboneto de silicone do
semicondutor, 6HSiC e 4H sic em categorias de qualidade diferentes
para fabricantes do pesquisador e da indústria. Nós desenvolvemos a tecnologia do crescimento sic de cristal e a tecnologia de processamento da bolacha sic de cristal, estabelecidas uma linha de produço ao fabricante SiCsubstrate,
que é aplicado em GaNepitaxydevice, em powerdevices, no dispositivo
de alta temperatura e em dispositivos optoelectronic. Como uma
empresa profissional investida pelos fabricantes principais dos
campos de institutos materiais avançados e da alto-tecnologia da
pesquisa e do estado e de laboratório do semicondutor de China, nós
é devotada para melhorar continuamente atualmente a qualidade de
carcaças e para desenvolver grandes carcaças do tamanho.
Mostra aqui a especificaço de detalhe
Mostra aqui a especificaço de detalhe:
PROPRIEDADES MATERIAIS DE CARBONETO DE SILICONE
Polytype | Único cristal 4H | Único cristal 6H |
Parmetros da estrutura | a=3.076 Å | a=3.073 Å |
c=10.053 Å | c=15.117 Å | |
Empilhando a sequência | ABCB | ABCACB |
Faixa-Gap | eV 3,26 | eV 3,03 |
Densidade | 3,21 · 103 kg/m3 | 3,21 · 103 kg/m3 |
Therm. Coeficiente da expanso | 4-5×10-6/K | 4-5×10-6/K |
Índice da refraço | nenhuns = 2,719 | nenhuns = 2,707 |
ne = 2,777 | ne = 2,755 | |
Constante dielétrica | 9,6 | 9,66 |
Condutibilidade térmica | 490 W/mK | 490 W/mK |
Campo bonde da diviso | 2-4 · 108 V/m | 2-4 · 108 V/m |
Velocidade de traço da saturaço | 2,0 · 105 m/s | 2,0 · 105 m/s |
Mobilidade de elétron | 800 cm2/V·S | 400 cm2/V·S |
mobilidade de furo | 115 cm2/V·S | 90 cm2/V·S |
Dureza de Mohs | ~9 | ~9 |
tipo sic bolacha de 6H N, categoria da pesquisa, Epi pronto, 2"
tamanhos
PROPRIEDADE DA CARCAÇA | S6H-51-N-PWAM-250 S6H-51-N-PWAM-330 S6H-51-N-PWAM-430 |
Descriço | Carcaça da categoria 6H da pesquisa sic |
Polytype | 6H |
Dimetro | (50,8 ± 0,38) milímetro |
Espessura | (250 ± 25) μm do μm do μm (330 ± 25) (430 ± 25) |
Tipo do portador | n-tipo |
Entorpecente | Nitrogênio |
Resistividade (RT) | 0,02 ~ 0,1 Ω·cm |
Aspereza de superfície | < 0,5 nanômetros (CMP da Si-cara Epi-pronto); <1 nanômetro (polimento ótico da cara do c) |
FWHM | arcsec <50 |
Densidade de Micropipe | A+≤1cm-2 A≤10cm-2 B≤30cm-2 C≤50cm-2 D≤100cm-2 |
Orientaço de superfície | |
Na linha central | <0001>± 0.5° |
Fora da linha central | 3.5° para <11-20>± 0.5° |
Orientaço lisa preliminar | ± 5° da paralela {1-100} |
Comprimento liso preliminar | ± 16,00 1,70 milímetros |
Orientaço lisa secundária | Si-cara: 90° cw. do ± liso 5° da orientaço |
C-cara: ccw de 90°. do ± liso 5° da orientaço | |
Comprimento liso secundário | ± 8,00 1,70 milímetros |
Revestimento de superfície | Cara simples ou duplo lustrada |
Empacotamento | Única caixa da bolacha ou multi caixa da bolacha |
Área útil | ≥ 90% |
Excluso da borda | 1 milímetro |
Crescimento sic de cristal
O crescimento de cristal maioria é a técnica para a fabricaço de
carcaças monocristalinas, fazendo a base para um processamento mais
adicional do dispositivo. Para ter uma descoberta sic na tecnologia
obviamente nós precisamos a produço sic de carcaça com um
process.6H- reprodutível e os cristais 4H- so crescidos sic em uns
cadinhos da grafite em altas temperaturas até 2100-2500°C. que a
temperatura de funcionamento no cadinho é fornecida pelo
aquecimento indutivo (RF) ou resistive. O crescimento ocorre sic em
sementes finas. A fonte representa sic a carga policristalina do
pó. Sic o vapor na cmara de crescimento consiste principalmente em
três espécies, a saber, si, Si2C, e SiC2, que so diluídos pelo gás
de portador, por exemplo, argônio. Sic a evoluço da fonte inclui a
variaço de tempo da porosidade e do dimetro do grnulo e o
graphitization dos grnulo do pó.
parmetro da estrutura
A constante da estrutura, ou o parmetro da estrutura, referem a
distncia constante entre pilhas de unidade em uma estrutura de
cristal. As estrutura em três dimensões têm geralmente três
constantes da estrutura, referidas como a, b, e C. Contudo, na
caixa especial de estruturas de cristal cúbicas, todas as
constantes so iguais e nós referimos somente o A. Similarmente, em
estruturas de cristal sextavadas, as constantes de um andb so
iguais, e nós referimos somente as constantes da e de c. Um grupo
de constantes da estrutura podia ser referido como parmetros da
estrutura. Contudo, o conjunto completo de parmetros da estrutura
consiste nas três constantes da estrutura e nos três ngulos entre
eles.
Por exemplo a estrutura constante para um diamante comum do carbono
está a = 3.57Å em 300 K. A estrutura é equilateral embora sua forma
real no possa ser determinada somente da constante da estrutura.
Além disso, em aplicações reais, a constante média da estrutura é
dada tipicamente. Porque as constantes da estrutura têm a dimenso
do comprimento, sua unidade do SI é o medidor. As constantes da
estrutura so tipicamente na ordem de diversos ångströms (isto é
décimos do nanômetros). As constantes da estrutura podem ser
técnicas de utilizaço determinadas tais como a difraço de raio X ou
com um microscópio atômico da força.
No crescimento epitaxial, a constante da estrutura é uma medida da
compatibilidade estrutural entre materiais diferentes. A
harmonizaço da constante da estrutura é importante para o
crescimento de camadas finas de materiais em outros materiais;
quando as constantes diferem, as tensões esto introduzidas na
camada, que impede o crescimento epitaxial de umas camadas mais
grossas sem defeitos.