Tipo sic bolacha de C (0001) 6H N, categoria da pesquisa, Epi pronto, 2" tamanhos

Brand Name:PAM-XIAMEN
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Xiamen Fujian China
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tipo sic bolacha de 6H N, categoria da pesquisa, Epi pronto, 2" tamanhos
 
PAM-XIAMEN oferece bolachas do carboneto de silicone do semicondutor, 6HSiC e 4H sic em categorias de qualidade diferentes para fabricantes do pesquisador e da indústria. Nós desenvolvemos a tecnologia do crescimento sic de cristal e a tecnologia de processamento da bolacha sic de cristal, estabelecidas uma linha de produço ao fabricante SiCsubstrate, que é aplicado em GaNepitaxydevice, em powerdevices, no dispositivo de alta temperatura e em dispositivos optoelectronic. Como uma empresa profissional investida pelos fabricantes principais dos campos de institutos materiais avançados e da alto-tecnologia da pesquisa e do estado e de laboratório do semicondutor de China, nós é devotada para melhorar continuamente atualmente a qualidade de carcaças e para desenvolver grandes carcaças do tamanho.
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PROPRIEDADES MATERIAIS DE CARBONETO DE SILICONE
 

PolytypeÚnico cristal 4HÚnico cristal 6H
Parmetros da estruturaa=3.076 Åa=3.073 Å
 c=10.053 Åc=15.117 Å
Empilhando a sequênciaABCBABCACB
Faixa-GapeV 3,26eV 3,03
Densidade3,21 · 103 kg/m33,21 · 103 kg/m3
Therm. Coeficiente da expanso4-5×10-6/K4-5×10-6/K
Índice da refraçonenhuns = 2,719nenhuns = 2,707
 ne = 2,777ne = 2,755
Constante dielétrica9,69,66
Condutibilidade térmica490 W/mK490 W/mK
Campo bonde da diviso2-4 · 108 V/m2-4 · 108 V/m
Velocidade de traço da saturaço2,0 · 105 m/s2,0 · 105 m/s
Mobilidade de elétron800 cm2/V·S400 cm2/V·S
mobilidade de furo115 cm2/V·S90 cm2/V·S
Dureza de Mohs~9~9

 
 
tipo sic bolacha de 6H N, categoria da pesquisa, Epi pronto, 2" tamanhos
 
 

PROPRIEDADE DA CARCAÇAS6H-51-N-PWAM-250 S6H-51-N-PWAM-330 S6H-51-N-PWAM-430
DescriçoCarcaça da categoria 6H da pesquisa sic
Polytype6H
Dimetro(50,8 ± 0,38) milímetro
Espessura(250 ± 25) μm do μm do μm (330 ± 25) (430 ± 25)
Tipo do portadorn-tipo
EntorpecenteNitrogênio
Resistividade (RT)0,02 ~ 0,1 Ω·cm
Aspereza de superfície< 0,5 nanômetros (CMP da Si-cara Epi-pronto); <1 nanômetro (polimento ótico da cara do c)
FWHMarcsec <50
Densidade de MicropipeA+≤1cm-2 A≤10cm-2 B≤30cm-2 C≤50cm-2 D≤100cm-2
Orientaço de superfície
Na linha central<0001>± 0.5°
Fora da linha central3.5° para <11-20>± 0.5°
Orientaço lisa preliminar± 5° da paralela {1-100}
Comprimento liso preliminar± 16,00 1,70 milímetros
Orientaço lisa secundáriaSi-cara: 90° cw. do ± liso 5° da orientaço
C-cara: ccw de 90°. do ± liso 5° da orientaço
Comprimento liso secundário± 8,00 1,70 milímetros
Revestimento de superfícieCara simples ou duplo lustrada
EmpacotamentoÚnica caixa da bolacha ou multi caixa da bolacha
Área útil≥ 90%
Excluso da borda1 milímetro

 
Crescimento sic de cristal
O crescimento de cristal maioria é a técnica para a fabricaço de carcaças monocristalinas, fazendo a base para um processamento mais adicional do dispositivo. Para ter uma descoberta sic na tecnologia obviamente nós precisamos a produço sic de carcaça com um process.6H- reprodutível e os cristais 4H- so crescidos sic em uns cadinhos da grafite em altas temperaturas até 2100-2500°C. que a temperatura de funcionamento no cadinho é fornecida pelo aquecimento indutivo (RF) ou resistive. O crescimento ocorre sic em sementes finas. A fonte representa sic a carga policristalina do pó. Sic o vapor na cmara de crescimento consiste principalmente em três espécies, a saber, si, Si2C, e SiC2, que so diluídos pelo gás de portador, por exemplo, argônio. Sic a evoluço da fonte inclui a variaço de tempo da porosidade e do dimetro do grnulo e o graphitization dos grnulo do pó.
 
parmetro da estrutura
A constante da estrutura, ou o parmetro da estrutura, referem a distncia constante entre pilhas de unidade em uma estrutura de cristal. As estrutura em três dimensões têm geralmente três constantes da estrutura, referidas como a, b, e C. Contudo, na caixa especial de estruturas de cristal cúbicas, todas as constantes so iguais e nós referimos somente o A. Similarmente, em estruturas de cristal sextavadas, as constantes de um andb so iguais, e nós referimos somente as constantes da e de c. Um grupo de constantes da estrutura podia ser referido como parmetros da estrutura. Contudo, o conjunto completo de parmetros da estrutura consiste nas três constantes da estrutura e nos três ngulos entre eles.
Por exemplo a estrutura constante para um diamante comum do carbono está a = 3.57Å em 300 K. A estrutura é equilateral embora sua forma real no possa ser determinada somente da constante da estrutura. Além disso, em aplicações reais, a constante média da estrutura é dada tipicamente. Porque as constantes da estrutura têm a dimenso do comprimento, sua unidade do SI é o medidor. As constantes da estrutura so tipicamente na ordem de diversos ångströms (isto é décimos do nanômetros). As constantes da estrutura podem ser técnicas de utilizaço determinadas tais como a difraço de raio X ou com um microscópio atômico da força.
No crescimento epitaxial, a constante da estrutura é uma medida da compatibilidade estrutural entre materiais diferentes. A harmonizaço da constante da estrutura é importante para o crescimento de camadas finas de materiais em outros materiais; quando as constantes diferem, as tensões esto introduzidas na camada, que impede o crescimento epitaxial de umas camadas mais grossas sem defeitos. 

 





















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