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pureza 4H alta que isola semi sic a bolacha, categoria da produço, 3" tamanho, baixa concentraço de portador
PAM-XIAMEN fornece a indústria eletrônica e optoelectronic de alta qualidade do waferfor do único cristal sic (carboneto de silicone). Sic a bolacha é propriedades elétricas originais de um materialwith do semicondutor da próxima geraço e propriedades térmicas excelentes para a aplicaço do dispositivo da alta temperatura e de poder superior. Sic a bolacha pode ser fornecida no dimetro 2~6 polegadas, 4H e 6H sic, N-tipo, nitrogênio lubrificado, e tipo deisolamento disponível. Contacte-nos por favor para mais informaço
Pureza alta que isola semi sic a bolacha: Devido diferença de faixa larga, a concentraço de portador intrínseco sic de bolacha é muito baixa na temperatura ambiente. Este valor é sobre 0.13cm-3 para 3C sic, sobre 5x10^-2cm2 para 4H sic e sobre 1x10^- 6 cm-3 para 6H sic. Esta é a razo principal pela qual sic os dispositivos eletrónicos podem trabalhar na alta temperatura e a corrente do escapamento é muito pequena.
PROPRIEDADES MATERIAIS DE CARBONETO DE SILICONE
Polytype | Único cristal 4H | Único cristal 6H |
Parmetros da estrutura | a=3.076 Å | a=3.073 Å |
c=10.053 Å | c=15.117 Å | |
Empilhando a sequência | ABCB | ABCACB |
Faixa-Gap | eV 3,26 | eV 3,03 |
Densidade | 3,21 · 103 kg/m3 | 3,21 · 103 kg/m3 |
Therm. Coeficiente da expanso | 4-5×10-6/K | 4-5×10-6/K |
Índice da refraço | nenhuns = 2,719 | nenhuns = 2,707 |
ne = 2,777 | ne = 2,755 | |
Constante dielétrica | 9,6 | 9,66 |
Condutibilidade térmica | 490 W/mK | 490 W/mK |
Campo bonde da diviso | 2-4 · 108 V/m | 2-4 · 108 V/m |
Velocidade de traço da saturaço | 2,0 · 105 m/s | 2,0 · 105 m/s |
Mobilidade de elétron | 800 cm2/V·S | 400 cm2/V·S |
mobilidade de furo | 115 cm2/V·S | 90 cm2/V·S |
Dureza de Mohs | ~9 | ~9 |
pureza 4H alta que isola semi sic a bolacha, categoria da produço,
3" tamanho
PROPRIEDADE DA CARCAÇA | S4H-51-SI-PWAM-250 S4H-51-SI-PWAM-330 S4H-51-SI-PWAM-430 |
Descriço | Carcaça da categoria 4Hda produçoSEMI |
Polytype | 4H |
Dimetro | (50,8 ± 0,38) milímetro |
Espessura | (250 ± 25) μm do μm do μm (330 ± 25) (430 ± 25) |
Resistividade (RT) | >1E5 Ω·cm |
Aspereza de superfície | < 0=""> |
FWHM | <30 arcsec=""> |
Densidade de Micropipe | A+≤1cm-2 A≤10cm-2 B≤30cm-2 C≤50cm-2 D≤100cm-2 |
Orientaço de superfície | |
No ± <0001>0.5° da linha central | |
Fora da linha central 3.5° para <11-20>o ± 0.5° | |
Orientaço lisa preliminar | Paralelize o ± 5° {de 1-100} |
Comprimento liso preliminar | ± 16,00 1,70 milímetros |
Si-cara lisa secundária da orientaço: 90° cw. do ± liso 5° da orientaço | |
C-cara: ccw de 90°. do ± liso 5° da orientaço | |
Comprimento liso secundário | ± 8,00 1,70 milímetros |
Revestimento de superfície | Cara simples ou duplo lustrada |
Empacotamento | Única caixa da bolacha ou multi caixa da bolacha |
Área útil | ≥ 90% |
Excluso da borda | 1 milímetro |
Crescimento sic de cristal
O crescimento de cristal maioria é a técnica para a fabricaço de carcaças monocristalinas, fazendo a base para um processamento mais adicional do dispositivo. Para ter uma descoberta sic na tecnologia obviamente nós precisamos a produço sic de carcaça com um process.6H- reprodutível e os cristais 4H- so crescidos sic em uns cadinhos da grafite em altas temperaturas até 2100-2500°C. que a temperatura de funcionamento no cadinho é fornecida pelo aquecimento indutivo (RF) ou resistive. O crescimento ocorre sic em sementes finas. A fonte representa sic a carga policristalina do pó. Sic o vapor na cmara de crescimento consiste principalmente em três espécies, a saber, si, Si2C, e SiC2, que so diluídos pelo gás de portador, por exemplo, argônio. Sic a evoluço da fonte inclui a variaço de tempo da porosidade e do dimetro do grnulo e o graphitization dos grnulo do pó.
Crescimento de 3C-SiC em carcaças da grande área (silicone)
Apesar da ausência sic de carcaças, os benefícios potenciais sic da
eletrônica do hostil-ambiente no obstante conduziram a obtenço
visada modesta dos esforços de pesquisa sic em um formulário
manufacturable da bolacha. Para esta extremidade, o crescimento
heteroepitaxial do único-cristal mergulha sic sobre
siliconsubstrates da grande área foi realizado primeiramente em
1983, e seguido subseqentemente por um grande muito outro ao longo
dos anos que usa uma variedade de técnicas do crescimento.
Primeiramente devido s grandes diferenças na estrutura constante
(diferença de ~20% no meio sic e si) e no coeficiente da expanso
térmica (diferença de ~8%), heteroepitaxy sic de usar o silicone
como uma carcaça conduz sempre ao crescimento de 3C-SiC com um
muito high-density de defeitos estruturais crystallographic tais
como falhas de empilhamento, microtwins, e limites do domínio da
inverso. Outros materiais da bolacha do largearea além do silicone
(tal como a safira, o silicone-em-isolador, e o tique) foram
empregados como carcaças para o crescimento heteroepitaxial sic de
epilayers, mas os filmes resultantes foram da qualidade do
comparablypoor com densidades crystallographic altas do defeito. A
aproximaço 3C-SiC-on-silicon a mais prometedora até agora que
conseguiu a mais baixa densidade crystallographic do defeito
envolve o uso de carcaças de silicone undulant. Contudo, mesmo com
esta aproximaço altamente nova, as densidades de deslocaço
permanecem muito altas comparadas s bolachas sextavadas do silicone
e do volume sic.
Quando alguns dispositivos eletrónicos e circuitos limitados do
semicondutor forem executados em 3C-SiC crescidos no silicone, o
desempenho dos estes eletrônica (até data desta escrita) pode ser
resumido como limitado severamente pelo alto densidade de defeitos
crystallographic ao grau que quase nenhum dos benefícios
operacionais discutidos na seço 5,3 foi realizado vivel. Entre
outros problemas, os defeitos de cristal “escapam” a corrente
parasítica através das junções reverso-inclinadas do dispositivo
onde o fluxo atual no é desejado. Porque os defeitos de cristal
excessivos conduzem aos defeitos do dispositivo bonde, no há até
agora nenhuma eletrônica comercial fabricada em 3C-SiC crescido em
carcaças da grande área. Assim, 3C-SiC crescido no silicone tem
presentemente mais potencial porque um material mecnico em
aplicações microelectromechanical dos sistemas (MEMS) (seço 5.6.5)
em vez da utilizaço puramente como um semicondutor na eletrônica de
circuito integrado tradicional do transistor.