XIAMEN POWERWAY AVANÇOU CO. MATERIAL, LTD.
XIAMEN POWERWAY ADVANCED MATERIAL CO., LTD.
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PAM-XIAMEN oferece bolachas do carboneto de silicone do semicondutor, 6H sic e 4H sic em categorias de qualidade diferentes para fabricantes do pesquisador e da indústria. Nós desenvolvemos a tecnologia do crescimento sic de cristal e a tecnologia de processamento da bolacha sic de cristal, estabelecidas uma linha de produção à carcaça do fabricante sic, que é aplicada no dispositivo da epitaxia de GaN, nos dispositivos de poder, no dispositivo de alta temperatura e em dispositivos optoelectronic. Como uma empresa profissional investida pelos fabricantes principais dos campos de institutos materiais avançados e da alto-tecnologia da pesquisa e do estado e de laboratório do semicondutor de China, nós é devotada para melhorar continuamente atualmente a qualidade de carcaças e para desenvolver grandes carcaças do tamanho.
Mostra aqui a especificação de detalhe:
PROPRIEDADES MATERIAIS DE CARBONETO DE SILICONE
| Polytype | Único cristal 4H | Único cristal 6H |
| Parâmetros da estrutura | a=3.076 Å | a=3.073 Å |
| c=10.053 Å | c=15.117 Å | |
| Empilhando a sequência | ABCB | ABCACB |
| Faixa-Gap | eV 3,26 | eV 3,03 |
| Densidade | 3,21 · 103 kg/m3 | 3,21 · 103 kg/m3 |
| Therm. Coeficiente da expansão | 4-5×10-6/K | 4-5×10-6/K |
| Índice da refração | nenhuns = 2,719 | nenhuns = 2,707 |
| ne = 2,777 | ne = 2,755 | |
| Constante dielétrica | 9,6 | 9,66 |
| Condutibilidade térmica | 490 W/mK | 490 W/mK |
| Campo bonde da divisão | 2-4 · 108 V/m | 2-4 · 108 V/m |
| Velocidade de tração da saturação | 2,0 · 105 m/s | 2,0 · 105 m/s |
| Mobilidade de elétron | 800 cm2/V·S | 400 cm2/V·S |
| mobilidade de furo | 115 cm2/V·S | 90 cm2/V·S |
| Dureza de Mohs | ~9 | ~9 |
6H N-TYPE sic, ESPECIFICAÇÃO da BOLACHA de 2 ″ (50.8mm)
| PROPRIEDADE DA CARCAÇA | S6H-51-N-PWAM-250 S6H-51-N-PWAM-330 S6H-51-N-PWAM-430 |
| Descrição | Carcaça da categoria 6H do manequim da categoria D da pesquisa da categoria C/D da produção de A/B sic |
| Polytype | 6H |
| Diâmetro | (50,8 ± 0,38) milímetro |
| Espessura | (250 ± 25) μm do μm do μm (330 ± 25) (430 ± 25) |
| Tipo do portador | n-tipo |
| Entorpecente | Nitrogênio |
| Resistividade (RT) | 0,02 ~ 0,1 Ω·cm |
| Aspereza de superfície | < 0=""> |
| FWHM | A<30 arcsec="" B=""> |
| Densidade de Micropipe | A+≤1cm-2 A≤10cm-2 B≤30cm-2 C≤50cm-2 D≤100cm-2 |
| Orientação de superfície | |
| Na linha central | <0001>± 0.5° |
| Fora da linha central | 3.5° para <11-20>o ± 0.5° |
| Orientação lisa preliminar | ± 5° da paralela {1-100} |
| Comprimento liso preliminar | ± 16,00 1,70 milímetros |
| Orientação lisa secundária | Si-cara: 90° cw. do ± liso 5° da orientação |
| C-cara: ccw de 90°. do ± liso 5° da orientação | |
| Comprimento liso secundário | ± 8,00 1,70 milímetros |
| Revestimento de superfície | Cara simples ou duplo lustrada |
| Empacotamento | Única caixa da bolacha ou multi caixa da bolacha |
| Área útil | ≥ 90% |
| Exclusão da borda | 1 milímetro |
4H queISOLA sic, ESPECIFICAÇÃO da BOLACHA de 2 ″ (50.8mm)
(A carcaça deisolamento da Alto-pureza (HPSI) sic está disponível)
| PROPRIEDADE DA CARCAÇA | S4H-51-SI-PWAM-250 S4H-51-SI-PWAM-330 S4H-51-SI-PWAM-430 |
| Descrição | Carcaça da categoria 4H do manequim da categoria D da pesquisa da categoria C/D da produção de A/B SEMI |
| Polytype | 4H |
| Diâmetro | (50,8 ± 0,38) milímetro |
| Espessura | (250 ± 25) μm do μm do μm (330 ± 25) (430 ± 25) |
| Resistividade (RT) | >1E5 Ω·cm |
| Aspereza de superfície | < 0=""> |
| FWHM | A<30 arcsec="" B=""> |
| Densidade de Micropipe | A+≤1cm-2 A≤10cm-2 B≤30cm-2 C≤50cm-2 D≤100cm-2 |
| Orientação de superfície | |
| No ± <0001>0.5° da linha central | |
| Fora da linha central 3.5° para <11-20>o ± 0.5° | |
| Orientação lisa preliminar | ± 5° da paralela {1-100} |
| Comprimento liso preliminar | ± 16,00 1,70 milímetros |
| Si-cara lisa secundária da orientação: 90° cw. do ± liso 5° da orientação | |
| C-cara: ccw de 90°. do ± liso 5° da orientação | |
| Comprimento liso secundário | ± 8,00 1,70 milímetros |
| Revestimento de superfície | Cara simples ou duplo lustrada |
| Empacotamento | Única caixa da bolacha ou multi caixa da bolacha |
| Área útil | ≥ 90% |
| Exclusão da borda | 1 milímetro |
N-tipo 4H ou Semi-isolamento SIC, 5mm*5mm, ESPECIFICAÇÃO da BOLACHA de 10mm*10mm: Espessura: 330μm/430μm
N-tipo 4H ou Semi-isolamento SIC, 15mm*15mm, ESPECIFICAÇÃO da BOLACHA de 20mm*20mm: Espessura: 330μm/430μm
4H N-TYPE sic, ESPECIFICAÇÃO da BOLACHA de 2 ″ (50.8mm)
| PROPRIEDADE DA CARCAÇA | S4H-51-N-PWAM-330 S4H-51-N-PWAM-430 | |
| Descrição | Carcaça da categoria 4H do manequim da categoria D da pesquisa da categoria C/D da produção de A/B sic | |
| Polytype | 4H | |
| Diâmetro | (50,8 ± 0,38) milímetro | |
| Espessura | (250 ± 25) μm do μm do μm (330 ± 25) (430 ± 25) | |
| Tipo do portador | n-tipo | |
| Entorpecente | Nitrogênio | |
| Resistividade (RT) | 0,012 – 0,0028 Ω·cm | |
| Aspereza de superfície | < 0=""> | |
| FWHM | A<30 arcsec="" B=""> | |
| Densidade de Micropipe | A+≤1cm-2 A≤10cm-2 B≤30cm-2 C≤50cm-2 D≤100cm-2 | |
| Orientação de superfície | ||
| Na linha central | <0001>± 0.5° | |
| Fora da linha central | 4°or 8° para <11-20>o ± 0.5° | |
| Orientação lisa preliminar | ± 5° da paralela {1-100} | |
| Comprimento liso preliminar | ± 16,00 1,70) milímetro | |
| Orientação lisa secundária | Si-cara: 90° cw. do ± liso 5° da orientação | |
| C-cara: ccw de 90°. do ± liso 5° da orientação | ||
| Comprimento liso secundário | ± 8,00 1,70 milímetros | |
| Revestimento de superfície | Cara simples ou duplo lustrada | |
| Empacotamento | Única caixa da bolacha ou multi caixa da bolacha | |
| Área útil | ≥ 90% | |
| Exclusão da borda | 1 milímetro | |
4H N-TYPE sic, ESPECIFICAÇÃO da BOLACHA de 3 ″ (76.2mm)
| PROPRIEDADE DA CARCAÇA | S4H-76-N-PWAM-330 S4H-76-N-PWAM-430 |
| Descrição | Carcaça da categoria 4H do manequim da categoria D da pesquisa da categoria C/D da produção de A/B sic |
| Polytype | 4H |
| Diâmetro | (76,2 ± 0,38) milímetro |
| Espessura | (350 ± 25) μm do μm (430 ± 25) |
| Tipo do portador | n-tipo |
| Entorpecente | Nitrogênio |
| Resistividade (RT) | 0,015 – 0.028Ω·cm |
| Aspereza de superfície | < 0=""> |
| FWHM | A<30 arcsec="" B=""> |
| Densidade de Micropipe | A+≤1cm-2 A≤10cm-2 B≤30cm-2 C≤50cm-2 D≤100cm-2 |
| TTV/Bow /Warp | <25μm |
| Orientação de superfície | |
| Na linha central | <0001>± 0.5° |
| Fora da linha central | 4°or 8° para <11-20>o ± 0.5° |
| Orientação lisa preliminar | <11-20>±5.0° |
| Comprimento liso preliminar | 22,22 mm±3.17mm |
| 0,875 ″ do ″ ±0.125 | |
| Orientação lisa secundária | Si-cara: 90° cw. do ± liso 5° da orientação |
| C-cara: ccw de 90°. do ± liso 5° da orientação | |
| Comprimento liso secundário | ± 11,00 1,70 milímetros |
| Revestimento de superfície | Cara simples ou duplo lustrada |
| Empacotamento | Única caixa da bolacha ou multi caixa da bolacha |
| Risco | Nenhum |
| Área útil | ≥ 90% |
| Exclusão da borda | 2mm |
4H queISOLA sic, ESPECIFICAÇÃO da BOLACHA de 3 ″ (76.2mm)
(A carcaça deisolamento da pureza alta (HPSI) sic está disponível)
| PROPRIEDADE DA CARCAÇA | S4H-76-N-PWAM-330 S4H-76-N-PWAM-430 |
| Descrição | Carcaça da categoria 4H do manequim da categoria D da pesquisa da categoria C/D da produção de A/B sic |
| Polytype | 4H |
| Diâmetro | (76,2 ± 0,38) milímetro |
| Espessura | (350 ± 25) μm do μm (430 ± 25) |
| Tipo do portador | semi-isolamento |
| Entorpecente | V |
| Resistividade (RT) | >1E5 Ω·cm |
| Aspereza de superfície | < 0=""> |
| FWHM | A<30 arcsec="" B=""> |
| Densidade de Micropipe | A+≤1cm-2 A≤10cm-2 B≤30cm-2 C≤50cm-2 D≤100cm-2 |
| TTV/Bow /Warp | <25μm |
| Orientação de superfície | |
| Na linha central | <0001>± 0.5° |
| Fora da linha central | 4°or 8° para <11-20>o ± 0.5° |
| Orientação lisa preliminar | <11-20>±5.0° |
| Comprimento liso preliminar | 22,22 mm±3.17mm |
| 0,875 ″ do ″ ±0.125 | |
| Orientação lisa secundária | Si-cara: 90° cw. do ± liso 5° da orientação |
| C-cara: ccw de 90°. do ± liso 5° da orientação | |
| Comprimento liso secundário | ± 11,00 1,70 milímetros |
| Revestimento de superfície | Cara simples ou duplo lustrada |
| Empacotamento | Única caixa da bolacha ou multi caixa da bolacha |
| Risco | Nenhum |
| Área útil | ≥ 90% |
| Exclusão da borda | 2mm |
4H N-TYPE sic, ESPECIFICAÇÃO da BOLACHA de 4 ″ (100mm)
| PROPRIEDADE DA CARCAÇA | S4H-100-N-PWAM-330 S4H-100-N-PWAM-430 |
| Descrição | Carcaça da categoria 4H do manequim da categoria D da pesquisa da categoria C/D da produção de A/B sic |
| Polytype | 4H |
| Diâmetro | (100,8 ± 0,38) milímetro |
| Espessura | (350 ± 25) μm do μm (430 ± 25) |
| Tipo do portador | n-tipo |
| Entorpecente | Nitrogênio |
| Resistividade (RT) | 0,015 – 0.028Ω·cm |
| Aspereza de superfície | < 0=""> |
| FWHM | A<30 arcsec="" B=""> |
| Densidade de Micropipe | A+≤1cm-2 A≤10cm-2 B≤30cm-2 C≤50cm-2 D≤100cm-2 |
| TTV/Bow /Warp | <45μm |
| Orientação de superfície | |
| Na linha central | <0001>± 0.5° |
| Fora da linha central | 4°or 8° para <11-20>o ± 0.5° |
| Orientação lisa preliminar | <11-20>±5.0° |
| Comprimento liso preliminar | 32,50 mm±2.00mm |
| Orientação lisa secundária | Si-cara: 90° cw. do ± liso 5° da orientação |
| C-cara: ccw de 90°. do ± liso 5° da orientação | |
| Comprimento liso secundário | ± 18,00 2,00 milímetros |
| Revestimento de superfície | Cara simples ou duplo lustrada |
| Empacotamento | Única caixa da bolacha ou multi caixa da bolacha |
| Risco | Nenhum |
| Área útil | ≥ 90% |
| Exclusão da borda | 2mm |
N-tipo 4H ou semi-isolamento SIC, 5mm*5mm, ESPECIFICAÇÃO da BOLACHA de 10mm*10mm: Espessura: 330μm/430μm
N-tipo 4H ou semi-isolamento SIC, 15mm*15mm, ESPECIFICAÇÃO da BOLACHA de 20mm*20mm: Espessura: 330μm/430μm
do um-plano bolacha sic, tamanho: 40mm*10mm, 30mm*10mm, 20mm*10mm, 10mm*10mm, especs. abaixo:
Tipo espessura de 6H/4H N: 330μm/430μm ou costume
Espessura 6H/4H deisolamento: 330μm/430μm ou costume
4H sic, SEMI-ISOLANDO, ESPECIFICAÇÃO da BOLACHA de 4 ″ (100mm)
(A carcaça deisolamento da Alto-pureza (HPSI) sic está disponível)
| PROPRIEDADE DA CARCAÇA | S4H-100-SI-PWAM-350 S4H-100-SI-PWAM-500 | |
| Descrição | Carcaça da categoria 4H do manequim da categoria D da pesquisa da categoria C/D da produção de A/B sic | |
| Polytype | 4H | |
| Diâmetro | (100 ± 0,5) milímetro | |
| Espessura | (350 ± 25) μm do μm (500 ± 25) | |
| Tipo do portador | Semi-isolamento | |
| Entorpecente | V | |
| Resistividade (RT) | >1E5 Ω·cm | |
| Aspereza de superfície | < 0=""> | |
| FWHM | A<30 arcsec="" B=""> | |
| Densidade de Micropipe | A≤5cm-2 B≤15cm-2 C≤50cm-2 D≤100cm-2 | |
| TTV/Bow /Warp | TTV<10μm; TTV< 25μm; WARP<45μm | |
| Orientação de superfície | ||
| Na linha central | <0001>± 0.5° | |
| Fora da linha central | Nenhum | |
| Orientação lisa preliminar | <11-20>±5.0° | |
| Comprimento liso preliminar | 32,50 mm±2.00mm | |
| Orientação lisa secundária | Si-cara: 90° cw. do ± liso 5° da orientação | |
| C-cara: ccw de 90°. do ± liso 5° da orientação | ||
| Comprimento liso secundário | ± 18,00 2,00 milímetros | |
| Revestimento de superfície | Cara dobro lustrada | |
| Empacotamento | Única caixa da bolacha ou multi caixa da bolacha | |
| Riscos | <8 scratches="" to="" 1="" x="" wafer="" diameter="" with="" total="" cumulative="" length=""> | |
| Quebras | Nenhum | |
| Área útil | ≥ 90% | |
| Exclusão da borda | 2mm | |
4H sic, N-TYPE, ESPECIFICAÇÃO da BOLACHA de 6 ″ (150mm)
| PROPRIEDADE DA CARCAÇA | S4H-150-N-PWAM-350 | |
| Descrição | Categoria 2 do manequim | |
| Polytype | 4H | |
| Diâmetro | (150 ± 0,2) milímetro | |
| Espessura | (350 ± 25) μm | |
| Tipo do portador | n-tipo | |
| Entorpecente | Nitrogênio | |
| Resistividade (RT) | 0,015 – 0.028Ω·cm | |
| Aspereza de superfície | < 0=""> | |
| Densidade de Micropipe | N/A | |
| TTV | ≤30μm | |
| Curva | ≤120μm | |
| Urdidura | ≤150μm | |
| Orientação de superfície | ||
| Fora da linha central | 4° para <11-20>o ± 0.5° | |
| Orientação lisa preliminar | <10-10>±5.0° | |
| Comprimento liso preliminar | 47,50 mm±2.50mm | |
| Revestimento de superfície | Cara dobro lustrada | |
| Exclusão da borda | 3mm | |
| Empacotamento | Única caixa da bolacha ou multi caixa da bolacha | |
Veja por favor o secundário-catálogo abaixo: