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3 tipo categoria principal lubrificada fósforo 3" da bolacha de silicone FZ da polegada N da orientação 111
Encontrado em 1990, o material avançado Co. de Xiamen Powerway, Ltd (PAM-XIAMEN) é um fabricante principal do material do semicondutor do doutor do semicon em China. PAM-XIAMEN desenvolve tecnologias avançadas do crescimento de cristal e da epitaxia, processos de manufatura, carcaças projetadas e dispositivos de semicondutor. As tecnologias de PAM-XIAMEN permitem um desempenho mais alto e uma fabricação mais barata da bolacha de semicondutor. Por quase 30 anos, PAM-XIAMEN aponta fabricar a bolacha de silicone monocrystalline do processo puxando para obter o lingote até o passo final que é o processo da limpeza, e verticalmente a integração ao crescimento do epi (bolacha do epi do silicone). Este fluxo do crescimento da produção e do epi reserva manter uma consistência segura e qualitativa. Dê-lhe boas-vindas para inquirir nossa equipe do coordenador, e nós dar-lhe-emos o apoio de tecnologia completo.
tipo categoria principal lubrificada fósforo 3" da bolacha de silicone 3inch FZ N da orientação 111
Tipo | Tipo da condução | Orientação | Diâmetro (milímetros) | Resistividade (Ω•cm) |
Resistência alta | N&P | <100>&<111> | 50 - 300 | >1000 |
NTD | N | <100>&<111> | 50 - 300 | 30-800 |
CFZ | N&P | <100>&<111> | 50 - 300 | 1-50 |
GD | N&P | <100>&<111> | 50 - 300 | 0.001-300 |
Parâmetro | Unidade | Valor |
Estrutura cristalina | - | Monocrystalline |
Técnica do crescimento | - | FZ |
Orientação de cristal | - | 111 |
Tipo da condutibilidade | - | N |
Entorpecente | - | P/As/Sb |
Diâmetro | milímetro | 76,2 |
Resistividade | Ω/cm2 | >1000, 30-800, 1-50, 0.001-300 |
Espessura | um | 350±15um 230±15um 380±25um |
TTV | um | ≤10 um |
CURVA | um | ≤40 um |
Urdidura | um | ≤40 um |
AGITAÇÃO (G) | um | Padrão do cliente |
Nivelamento-AGITAÇÃO do local | um | Padrão do cliente |
Zona de exclusão da borda | milímetro | SEMI STD ou pedido do cliente |
LPD | - | ≥0.3μm, <30count or="" Customer="" Request=""> |
Concentração de oxigênio | ppma | <1e16> |
Concentração do carbono | ppma | <1e16> |
RRG | - | ≤15% |
Superfície dianteira | - | Lustrado |
Superfície traseira | - | Lustrado ou gravado |
Condição de superfície da borda | SEMI STD ou pedido do cliente | |
Comprimento liso preliminar | milímetro | SEMI STD |
Orientação lisa preliminar (100/111) & ângulo (°) | SEMI STD | |
Comprimento liso secundário | milímetro | SEMI STD |
Orientação lisa secundária (100/111) & ângulo (°) | SEMI STD | |
Marca do laser | - | SEMI STD ou pedido do cliente |
Empacotamento | Empacotado em um ambiente do quarto desinfetado da classe 100, sacos exteriores plásticos Calor-selados folha interna/de alumínio, Embalagem do vácuo |
|
Se específico a exigência pelo cliente, ajustará em conformidade |
Como a bolacha de silicone é feita?
Crescimento do lingote do silicone: as bolachas de silicone do único cristal crescem através do Czochralski (CZ) e o método de FZ, crescimento do lingote da CZ exige pedaços do silicone policristalino virgem, segundo o entorpecente, o lingote transforma-se um tipo lingote de P ou de N (boro: Tipo de P; Fósforo, antimônio, arsênico: Tipo de N).
Corte: Uma vez que o lingote completo-é crescido, está moído a um diâmetro áspero do tamanho que seja levemente maior do que o diâmetro do alvo da bolacha de silicone final. O lingote tem um entalhe ou o plano cortou nele, os rendimentos do lingote ao corte. A borda do diamante considerou ajudas para minimizar dano às bolachas, à variação da espessura, e aos defeitos da curva e da urdidura.
Depois que as bolachas foram cortadas, o processo do dobramento começa.
Limpeza: O final e a maioria de etapa crucial no processo de manufatura estão lustrando a bolacha. Este processo ocorre em um quarto desinfetado. Os quartos desinfetados têm um sistema de avaliação que varie da classe 1 à classe 10.000. Estas partículas não são visíveis ao olho nu e em uma atmosfera descontrolada, os trabalhadores devem vestir os ternos do quarto desinfetado que cobrem seu corpo da cabeça para toe e não recolhem nem não levam nenhumas partículas.
Polonês: A maioria de bolachas de silicone principais da categoria atravessam 2-3 fases do lustro, de usar umas pastas progressivamente mais finas ou de lustrar compostos. O processo de lustro ocorre em duas etapas, que são remoção conservada em estoque e (CMP) polonês mecânico químico final. Ambos os processos usam almofadas de lustro e a pasta de lustro. O processo conservado em estoque da remoção remove uma camada muito fina de silicone e é necessário para produzir uma superfície da bolacha que seja dano-livre. Após o lustro, as bolachas de silicone continuam a uma fase final da limpeza que use uma série longa de banhos limpos. Este processo remove as partículas, os metais de traço, e os resíduos de superfície. Muitas vezes uma parte traseira esfrega é feita para remover mesmo as partículas as menores.
Empacotamento: Uma vez as bolachas terminam a etapa final da limpeza, os coordenadores classificam-nas pela especificação e inspecionam-nas sob luzes da alta intensidade ou sistemas da laser-exploração. Isto detecta as partículas indesejáveis ou os outros defeitos que podem ter ocorrido durante a fabricação. Todas as bolachas que encontram as especificações apropriadas são empacotadas em umas gavetas e seladas com fita. As bolachas enviam em um saco de plástico vácuo-selado com um saco exterior da folha hermética. Isto assegura-se de que nenhuma partícula ou umidade entrem na gaveta em cima de sair do quarto desinfetado.
Você está procurando uma bolacha de silicone?
PAM-XIAMEN é seu ir-ao lugar para bolachas de semicondutor, incluindo bolachas de silicone, como nós o temos feito por quase 30 anos! Envie-nos o inquérito para aprender mais sobre as bolachas que nós oferecemos e como nós podemos o ajudar com seu projeto seguinte. Nossa equipe do grupo pode dar-lhe o apoio de tecnologia. envie-nos o e-mail em sales@powerwaywafer.com ou em powerwaymaterial@gmail.com